西安交通大学2022年5至12月政府采购意向-高真空磁控溅射镀膜系统离轴式-功能高真空磁控溅射镀膜系统（离轴式）是利用物理气相沉积制备外
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西安交通大学2022年5至12月政府采购意向-高真空磁控溅射镀膜系统离轴式-功能高真空磁控溅射镀膜系统（离轴式）是利用物理气相沉积制备外
| 高真空磁控溅射镀膜系统 离轴式 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 2022年5至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 高真空磁控溅射镀膜系统 离轴式 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A9999其他不另分类的物品 |
| 采购需求概况： | 功能：高真空磁控溅射镀膜系统（离轴式）是利用物理气相沉积制备外延薄膜材料的真空设备，具有可进行离轴溅射、共溅射、反应溅射、平行向上溅射、样品台位置连续可调等功能。在离轴溅射条件下进行环境敏感的强关联氧化物薄膜材料的外延生长，以及用于其他金属薄膜、氧化物薄膜、半导体薄膜、压电材料、介电材料薄膜等样品的生长制备。要求磁场可变高真空靶在高真空气动挡片及在法兰组上通过VCR端口独立进气装置，在不破坏真空前提下调节靶角度。实现离轴磁控溅射减少甚至消除二次电子和阴离子反刻蚀效应，提高薄膜质量，支撑外延氧化物薄膜的磁控溅射生长的实验目标。 |
| 预计采购时间： | 2022-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 高真空磁控溅射镀膜系统 离轴式 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 2022年5至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 高真空磁控溅射镀膜系统 离轴式 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A9999其他不另分类的物品 |
| 采购需求概况： | 功能：高真空磁控溅射镀膜系统（离轴式）是利用物理气相沉积制备外延薄膜材料的真空设备，具有可进行离轴溅射、共溅射、反应溅射、平行向上溅射、样品台位置连续可调等功能。在离轴溅射条件下进行环境敏感的强关联氧化物薄膜材料的外延生长，以及用于其他金属薄膜、氧化物薄膜、半导体薄膜、压电材料、介电材料薄膜等样品的生长制备。要求磁场可变高真空靶在高真空气动挡片及在法兰组上通过VCR端口独立进气装置，在不破坏真空前提下调节靶角度。实现离轴磁控溅射减少甚至消除二次电子和阴离子反刻蚀效应，提高薄膜质量，支撑外延氧化物薄膜的磁控溅射生长的实验目标。 |
| 预计采购时间： | 2022-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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