西安交通大学2022年5至12月政府采购意向-高精度磁控溅射系统-拟采购磁控溅射系统一台,主要功能为

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西安交通大学2022年5至12月政府采购意向-高精度磁控溅射系统-拟采购磁控溅射系统一台,主要功能为

高精度磁控溅射系统
(略) 在采购意向: (略) 2022年5至12月政府采购意向
采购单位: (略)
采购项目名称:高精度磁控溅射系统
预算金额: 点击查看>> 00万元(人民币)
采购品目:
A9999其他不另分类的物品
采购需求概况:
拟采购磁控溅射系统一台,主要功能为实现金属以及合金材料的直流磁控溅射,氧化硅以及氮化硅等氧化物的射频溅射,能够制备膜厚均匀的金属或氧化物薄膜,且不同溅射批次间制备的薄膜具备一定的重复性。采购设备需要能够快速将工艺腔室的真空度降至最低,且工件台能够实现室温~500℃之间的精准控温。设备在溅射过程中,应能够维持较高的真空度以及较低的漏率以防止样品被污染。
预计采购时间:2022-05
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

序号采购单位采购项目
名称
采购品目采购需求概况预算金额
(万元)
预计
采购日期
备注
1 (略) 高真空磁控溅射镀膜系统 离轴式A9999其他不另分类的物品详见项目详情 点击查看>> 002022年05月详见项目详情
2 (略) 高精度磁控溅射系统A9999其他不另分类的物品详见项目详情 点击查看>> 002022年05月详见项目详情
3 (略) 全景组织细胞定量分析系统A9999其他不另分类的物品详见项目详情 点击查看>> 002022年05月详见项目详情
4 (略) 外泌体表征系统A9999其他不另分类的物品详见项目详情 点击查看>> 002022年05月详见项目详情
,西安
高精度磁控溅射系统
(略) 在采购意向: (略) 2022年5至12月政府采购意向
采购单位: (略)
采购项目名称:高精度磁控溅射系统
预算金额: 点击查看>> 00万元(人民币)
采购品目:
A9999其他不另分类的物品
采购需求概况:
拟采购磁控溅射系统一台,主要功能为实现金属以及合金材料的直流磁控溅射,氧化硅以及氮化硅等氧化物的射频溅射,能够制备膜厚均匀的金属或氧化物薄膜,且不同溅射批次间制备的薄膜具备一定的重复性。采购设备需要能够快速将工艺腔室的真空度降至最低,且工件台能够实现室温~500℃之间的精准控温。设备在溅射过程中,应能够维持较高的真空度以及较低的漏率以防止样品被污染。
预计采购时间:2022-05
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

序号采购单位采购项目
名称
采购品目采购需求概况预算金额
(万元)
预计
采购日期
备注
1 (略) 高真空磁控溅射镀膜系统 离轴式A9999其他不另分类的物品详见项目详情 点击查看>> 002022年05月详见项目详情
2 (略) 高精度磁控溅射系统A9999其他不另分类的物品详见项目详情 点击查看>> 002022年05月详见项目详情
3 (略) 全景组织细胞定量分析系统A9999其他不另分类的物品详见项目详情 点击查看>> 002022年05月详见项目详情
4 (略) 外泌体表征系统A9999其他不另分类的物品详见项目详情 点击查看>> 002022年05月详见项目详情
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