山东大学2022年（第二十批）05月政府采购意向公开-超高分辨率光学表面缺陷分析仪
发送至邮箱
山东大学2022年（第二十批）05月政府采购意向公开-超高分辨率光学表面缺陷分析仪
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《 (略) 关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕 (略) ）等有关规定， (略) 2022年（第二十批）05月政府采购意向公开政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | (略) | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
| 1 | 超高分辨率光学表面缺陷分析仪 | JN 点击查看>> | 其他专用仪器仪表 | 设备名称：超高分辨率光学表面缺陷分析仪。适应于SiC衬底及同质外延片的缺陷检测。尺寸：4", 6", 8"。设备可以检测的缺陷必须至少包括：划痕（scratch），凹坑（pit），突起（bump），微管（micropipe），胡萝卜（carrot），三角形（triangle），Downfall，堆垛层错缺陷（Stacking Fault），基平面位错（BPD）等各结晶及加工缺陷，设备对同一晶圆的不同工序中检测出的缺陷拥有缺陷坐标跟踪功能。设备的操作软件具备缺陷review功能，设备具备深度学习（Deep Learning）的缺陷分类系统，提供相应的软件系统和license。采购1台。 | 960 | 2022年05月 | |
| 2 | 8英寸单片清洗甩干机 | JN 点击查看>> | 其他专用仪器仪表 | 设备名称：8英寸单片清洗甩干机实现6-8英寸碳化硅单晶衬底及外延晶圆的单片清洗，去除正面及背面表面颗粒、有机物及金属残留等。品质良好的 6寸SIC 衬底 （无蜡残留）清洗后≧0.2um Particle≦1500个 ，清洗后≧0.3um Particle≦50个 （ 协助项目：清洗后≧0.2um Particle≦500个，清洗后≧0.2um Particle≦10~30个）；表面金属杂质含量≦5e10 atoms/cm2， （ 使用TXRF法检测 金属元素：K Ca Cr Mn Fe Ni Cu Zn Ti）。采购数量1台。设备 交付给客户使用后 售后 服 务 有 厂家 MT K (略) 为主导 进行售后 服务以及 代理店 的 协助 售后服务。 | 580 | 2022年05月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
(略) 招 (略)
2022年05月12日
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《 (略) 关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕 (略) ）等有关规定， (略) 2022年（第二十批）05月政府采购意向公开政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | (略) | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
| 1 | 超高分辨率光学表面缺陷分析仪 | JN 点击查看>> | 其他专用仪器仪表 | 设备名称：超高分辨率光学表面缺陷分析仪。适应于SiC衬底及同质外延片的缺陷检测。尺寸：4", 6", 8"。设备可以检测的缺陷必须至少包括：划痕（scratch），凹坑（pit），突起（bump），微管（micropipe），胡萝卜（carrot），三角形（triangle），Downfall，堆垛层错缺陷（Stacking Fault），基平面位错（BPD）等各结晶及加工缺陷，设备对同一晶圆的不同工序中检测出的缺陷拥有缺陷坐标跟踪功能。设备的操作软件具备缺陷review功能，设备具备深度学习（Deep Learning）的缺陷分类系统，提供相应的软件系统和license。采购1台。 | 960 | 2022年05月 | |
| 2 | 8英寸单片清洗甩干机 | JN 点击查看>> | 其他专用仪器仪表 | 设备名称：8英寸单片清洗甩干机实现6-8英寸碳化硅单晶衬底及外延晶圆的单片清洗，去除正面及背面表面颗粒、有机物及金属残留等。品质良好的 6寸SIC 衬底 （无蜡残留）清洗后≧0.2um Particle≦1500个 ，清洗后≧0.3um Particle≦50个 （ 协助项目：清洗后≧0.2um Particle≦500个，清洗后≧0.2um Particle≦10~30个）；表面金属杂质含量≦5e10 atoms/cm2， （ 使用TXRF法检测 金属元素：K Ca Cr Mn Fe Ni Cu Zn Ti）。采购数量1台。设备 交付给客户使用后 售后 服 务 有 厂家 MT K (略) 为主导 进行售后 服务以及 代理店 的 协助 售后服务。 | 580 | 2022年05月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
(略) 招 (略)
2022年05月12日
招投标大数据
最近搜索
无
热门搜索
无
