A 点击查看>> 物理特性分析仪器及校准仪器A 点击查看>> 显微镜 A 点击查看>> 真空应用设备A 点击查看>> 光学仪器 A 点击查看>> 其他试验仪器及装置 A 点击查看>> 其他仪器仪表

一、无液氦综合物性测量系统一套 1.9 T超导磁体、脉冲管制冷机、温度控制系统、高真空系统、专用控制软件等。2.温度1.9 K至400 K。3.直流电阻测量选件。4.样品水平旋转杆。5.配置：功率：6 kVA UPS电源、12 kW制冷量冷水机 二、场发射扫描电子显微镜一台分辨率：≤1.0 nm @15kV(SE)；加速电压（非着 点击查看>> 电压）：0.02kV ～ 30 kV（非样品台减速状态下），连续10V可调；2.图形发生器系统一套：刻写速度(数模转换DACs频率)：5 MHz / 6 MHz兼容，刻写极限线宽：50nm~100nm。 三、原子力显微镜一台X,Y轴：扫描范围 30μm;闭环噪音<60pm；Z轴：扫描范围 5μm; 闭环噪音<50pm（Adev,0.1Hz-1kHz）；SPM系统高度噪音< 15pm；RF调制的激光二极管光源，提供探测激光。光斑尺寸：10μm×30μm 四、高真空磁控溅射薄膜沉积系统一套1.溅射室极限真空度：≤3×10-8 Torr。2.溅射室40分钟可达到5×10-6 Torr。3.磁控溅射电源和靶组件：6套；靶材大小2英寸。4.复合分子泵及变频控制电源：1台（抽速1200升/秒）。5.通过传递杆与手套箱互联。五、包含锁相放大器，电压放大器，电流放大器，手套箱，显微镜，紫外光刻机等仪器设备一批。

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一、无液氦综合物性测量系统一套 1.9 T超导磁体、脉冲管制冷机、温度控制系统、高真空系统、专用控制软件等。2.温度1.9 K至400 K。3.直流电阻测量选件。4.样品水平旋转杆。5.配置：功率：6 kVA UPS电源、12 kW制冷量冷水机 二、场发射扫描电子显微镜一台分辨率：≤1.0 nm @15kV(SE)；加速电压（非着 点击查看>> 电压）：0.02kV ～ 30 kV（非样品台减速状态下），连续10V可调；2.图形发生器系统一套：刻写速度(数模转换DACs频率)：5 MHz / 6 MHz兼容，刻写极限线宽：50nm~100nm。 三、原子力显微镜一台X,Y轴：扫描范围 30μm;闭环噪音<60pm；Z轴：扫描范围 5μm; 闭环噪音<50pm（Adev,0.1Hz-1kHz）；SPM系统高度噪音< 15pm；RF调制的激光二极管光源，提供探测激光。光斑尺寸：10μm×30μm 四、高真空磁控溅射薄膜沉积系统一套1.溅射室极限真空度：≤3×10-8 Torr。2.溅射室40分钟可达到5×10-6 Torr。3.磁控溅射电源和靶组件：6套；靶材大小2英寸。4.复合分子泵及变频控制电源：1台（抽速1200升/秒）。5.通过传递杆与手套箱互联。五、包含锁相放大器，电压放大器，电流放大器，手套箱，显微镜，紫外光刻机等仪器设备一批。