8寸光刻机MaskAligner招标预告
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8寸光刻机MaskAligner招标预告
| 8寸光刻机Mask Aligner | |
| (略) 在采购意向： | (略) 2022年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 8寸光刻机Mask Aligner |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 购置1台。1.最大晶圆尺寸： 8英寸，并且向下兼容各类不同尺寸及不规则小片；2.曝光光源：UVLED曝光光源支持 365nm、 405nm、 435nm；3. 分辨率：优于0.8 um；4. 光强均匀度：优于±2.5％5. 配置消衍射及微镜式光学系统；6. 曝光模式：可支持接近式，硬接触、软接触和真空接触等模式；7. 支持正面对准和背面对准两种对准方式8. 套刻精度：正面套刻精度±0.5um；背面套刻精度：±1um；9. 具备全自动对准模式；10. 正面对准采用全数字分离视场显微镜,正面对准显微镜镜采用5倍，10倍，显微镜倍率:76X ～ 1216X ,屏幕分辨率：0.4um/像素，对准显微镜分离距离调节范围：29-150mm；11. 背面对准全自动分离视场显微镜，X-Y方向全自动控制，显微镜倍率:81X ～ 648X，屏幕分辨率：1.1um/像素12.对准台行程的范围： X：±5mm； Y：±5mm；θ：±5°, XY方向机械调节分辨率：40nm,角度方向机械调节分辨率：0. 点击查看>> °；13.支持倾斜角度曝光系统，倾斜曝光入射角为45°和60°。 |
| 预计采购时间： | 2022-07 |
| 备注： | |
| 8寸光刻机Mask Aligner | |
| (略) 在采购意向： | (略) 2022年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 8寸光刻机Mask Aligner |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 购置1台。1.最大晶圆尺寸： 8英寸，并且向下兼容各类不同尺寸及不规则小片；2.曝光光源：UVLED曝光光源支持 365nm、 405nm、 435nm；3. 分辨率：优于0.8 um；4. 光强均匀度：优于±2.5％5. 配置消衍射及微镜式光学系统；6. 曝光模式：可支持接近式，硬接触、软接触和真空接触等模式；7. 支持正面对准和背面对准两种对准方式8. 套刻精度：正面套刻精度±0.5um；背面套刻精度：±1um；9. 具备全自动对准模式；10. 正面对准采用全数字分离视场显微镜,正面对准显微镜镜采用5倍，10倍，显微镜倍率:76X ～ 1216X ,屏幕分辨率：0.4um/像素，对准显微镜分离距离调节范围：29-150mm；11. 背面对准全自动分离视场显微镜，X-Y方向全自动控制，显微镜倍率:81X ～ 648X，屏幕分辨率：1.1um/像素12.对准台行程的范围： X：±5mm； Y：±5mm；θ：±5°, XY方向机械调节分辨率：40nm,角度方向机械调节分辨率：0. 点击查看>> °；13.支持倾斜角度曝光系统，倾斜曝光入射角为45°和60°。 |
| 预计采购时间： | 2022-07 |
| 备注： | |
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