等离子体增强化学气相沉积系统招标预告

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等离子体增强化学气相沉积系统招标预告


等离子体增强化学气相沉积系统
(略) 在采购意向： (略) 2022年7月政府采购意向
采购单位： (略)
采购项目名称：等离子体增强化学气相沉积系统
预算金额： 点击查看>> 00万元(人民币)
采购品目：
A 点击查看>> 其他专用仪器仪表
采购需求概况：
购置1台。4~8寸，SiO2、SiN、BPSG、PSG等沉积工艺;RF功率： 点击查看>> MHz?8寸，向下兼容?工作压强：0.5-1.0torr功率密度：0.02-0.1Wcm-2
预计采购时间：2022-07
备注：


等离子体增强化学气相沉积系统
(略) 在采购意向： (略) 2022年7月政府采购意向
采购单位： (略)
采购项目名称：等离子体增强化学气相沉积系统
预算金额： 点击查看>> 00万元(人民币)
采购品目：
A 点击查看>> 其他专用仪器仪表
采购需求概况：
购置1台。4~8寸，SiO2、SiN、BPSG、PSG等沉积工艺;RF功率： 点击查看>> MHz?8寸，向下兼容?工作压强：0.5-1.0torr功率密度：0.02-0.1Wcm-2
预计采购时间：2022-07
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