原子层沉积ALD招标预告
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原子层沉积ALD招标预告
| 原子层沉积ALD | |
| (略) 在采购意向： | (略) 2022年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 原子层沉积ALD |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 购置1台。1.1要求设备主腔体采用双腔（真空腔+反应腔）热壁反应腔室设计。1.2辐照加热，衬底 (略) 位均可被加热500℃，温控精度满足±1℃。1.3 8英寸及兼容8英寸以下的衬底。1.4要求ALD腔体具有压强传感器，压强极限可以到1-2hpa。2 、 (略) 系统：需要配 (略) 均须配置独立的质量流量计（MFC）、压强传感器、脉冲阀，液态源与加热源分别配置独立的温度传感器。质量流量计（MFC）的测量范围满足0-2000 sccm，加热源料瓶容积不小于50 ml，加热温度不低于200℃。每个常温液态料源装置均须配制Peltier温度控制系统，以调节和稳定液态源温度，不用循环水浴。3、真空泵要求：符合 ALD 沉积要求，原装进口干泵，抽速不小于100 m3/h。 |
| 预计采购时间： | 2022-07 |
| 备注： | |
| 原子层沉积ALD | |
| (略) 在采购意向： | (略) 2022年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 原子层沉积ALD |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 购置1台。1.1要求设备主腔体采用双腔（真空腔+反应腔）热壁反应腔室设计。1.2辐照加热，衬底 (略) 位均可被加热500℃，温控精度满足±1℃。1.3 8英寸及兼容8英寸以下的衬底。1.4要求ALD腔体具有压强传感器，压强极限可以到1-2hpa。2 、 (略) 系统：需要配 (略) 均须配置独立的质量流量计（MFC）、压强传感器、脉冲阀，液态源与加热源分别配置独立的温度传感器。质量流量计（MFC）的测量范围满足0-2000 sccm，加热源料瓶容积不小于50 ml，加热温度不低于200℃。每个常温液态料源装置均须配制Peltier温度控制系统，以调节和稳定液态源温度，不用循环水浴。3、真空泵要求：符合 ALD 沉积要求，原装进口干泵，抽速不小于100 m3/h。 |
| 预计采购时间： | 2022-07 |
| 备注： | |
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