2022年6至12月政府意向-圆表面元素分析系统招标预告
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2022年6至12月政府意向-圆表面元素分析系统招标预告
| 圆表面元素分析系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) (略) 2022年6至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) (略) |
| 采购项目名称： | 圆表面元素分析系统 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> -其他电工、电子专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 该系统主要用于对晶圆表面薄膜材料，开展高精度痕量杂质元素分析，实现对痕量杂质元素在线测量，是支撑新型光刻机在CMOS工艺线上开展工艺验证的必要检测设备。该系统可提供超洁净晶圆表面痕量杂质元素的收集，配套ICP-MSMS (略) 理后的溶液，在线测量更低浓度的杂质元素，确保重金属掩膜在经过清洗工艺后，去除干净，达到CMOS工艺的对金属污染的控制要求。该设备主要性能指标为：1.支持尺寸硅晶圆为200mm;2.支持常规金属元素及贵金属及的扫描及测试，包括金，银，铂等；3.金属杂质浓度最低探测精度达到~1E10 atoms/cm2；4.系统自动收集晶圆表面沾污测试溶液；5.支持多种扫描方式：表面扫描，边缘扫描，亲水性扫描等; |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 圆表面元素分析系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) (略) 2022年6至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) (略) |
| 采购项目名称： | 圆表面元素分析系统 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> -其他电工、电子专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 该系统主要用于对晶圆表面薄膜材料，开展高精度痕量杂质元素分析，实现对痕量杂质元素在线测量，是支撑新型光刻机在CMOS工艺线上开展工艺验证的必要检测设备。该系统可提供超洁净晶圆表面痕量杂质元素的收集，配套ICP-MSMS (略) 理后的溶液，在线测量更低浓度的杂质元素，确保重金属掩膜在经过清洗工艺后，去除干净，达到CMOS工艺的对金属污染的控制要求。该设备主要性能指标为：1.支持尺寸硅晶圆为200mm;2.支持常规金属元素及贵金属及的扫描及测试，包括金，银，铂等；3.金属杂质浓度最低探测精度达到~1E10 atoms/cm2；4.系统自动收集晶圆表面沾污测试溶液；5.支持多种扫描方式：表面扫描，边缘扫描，亲水性扫描等; |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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