山东大学2022年8月政府采购意向-双枪电子束蒸发系统-设备主要用于半导体器件、硅晶圆、蓝宝石晶圆、碳化硅晶圆等半导
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山东大学2022年8月政府采购意向-双枪电子束蒸发系统-设备主要用于半导体器件、硅晶圆、蓝宝石晶圆、碳化硅晶圆等半导
| 双枪电子束蒸发系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 2022年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 双枪电子束蒸发系统 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | 电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 设备主要用于半导体器件、硅晶圆、蓝宝石晶圆、碳化硅晶圆等半导体材料或器件的表面金属材料蒸发沉积制备，能满足包括Ti、Ag、Ni、Ge、In、Au、Sn、Pt等单一金属薄膜蒸镀或两种金属共蒸混合薄膜的制备。 |
| 预计采购时间： | 2022-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 双枪电子束蒸发系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 2022年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 双枪电子束蒸发系统 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | 电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 设备主要用于半导体器件、硅晶圆、蓝宝石晶圆、碳化硅晶圆等半导体材料或器件的表面金属材料蒸发沉积制备，能满足包括Ti、Ag、Ni、Ge、In、Au、Sn、Pt等单一金属薄膜蒸镀或两种金属共蒸混合薄膜的制备。 |
| 预计采购时间： | 2022-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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