吉林大学2022年7月政府采购意向-高温化学气相沉积系统-所需的高温化学气相沉积系统，具备可同时工作的3反应室，进行S
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吉林大学2022年7月政府采购意向-高温化学气相沉积系统-所需的高温化学气相沉积系统，具备可同时工作的3反应室，进行S
| 高温化学气相沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 2022年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 高温化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 所需的高温化学气相沉积系统，具备可同时工作的3反应室，进行SiO2、SiNx等介质层的沉积。最高温度需达1600 ℃，升降温速率可控，可以对半导体器件进行高温退火工艺研究。需配备耐腐蚀的真空系统， (略) 理系统需符合排放标准。需配备软件工艺控制系统，能够通过软件对工艺进行设置，具备报警系统，可自动取放片，可自动抽真空及进行生长工艺。采购标的数量为1套。所需培训：1.应对用户人员进行技术培训。使其能掌握有关设备的使用、维护和管理等工作要求。2.及时提供相关领域新技术与新信息，终身免费提供相关实验室技术咨询。所需维修与保养：1.保修期：自验收合格后不少于1年。2.维修响应一般情况下4—8小时，终身维修。一般问题应在1周内解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在1月内解决或提出明确解决方案。3.仪器中的软件享受终身免费升级。 |
| 预计采购时间： | 2022-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 高温化学气相沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 2022年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 高温化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 所需的高温化学气相沉积系统，具备可同时工作的3反应室，进行SiO2、SiNx等介质层的沉积。最高温度需达1600 ℃，升降温速率可控，可以对半导体器件进行高温退火工艺研究。需配备耐腐蚀的真空系统， (略) 理系统需符合排放标准。需配备软件工艺控制系统，能够通过软件对工艺进行设置，具备报警系统，可自动取放片，可自动抽真空及进行生长工艺。采购标的数量为1套。所需培训：1.应对用户人员进行技术培训。使其能掌握有关设备的使用、维护和管理等工作要求。2.及时提供相关领域新技术与新信息，终身免费提供相关实验室技术咨询。所需维修与保养：1.保修期：自验收合格后不少于1年。2.维修响应一般情况下4—8小时，终身维修。一般问题应在1周内解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在1月内解决或提出明确解决方案。3.仪器中的软件享受终身免费升级。 |
| 预计采购时间： | 2022-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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