中国科学院上海微系统与信息技术研究所2022年7至8月政府采购意向-超高真空磁控溅射系统-用于Ta,TiN等超导薄膜制备。

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中国科学院上海微系统与信息技术研究所2022年7至8月政府采购意向-超高真空磁控溅射系统-用于Ta,TiN等超导薄膜制备。

超高真空磁控溅射系统
(略) 在采购意向： (略) 上海微系统与信 (略) 2022年7至8月政府采购意向
采购单位： (略) 上海微系统与信 (略)
采购项目名称：超高真空磁控溅射系统
预算金额： 点击查看>> 00万元(人民币)
采购品目：
采购需求概况：
用于Ta,TiN等超导薄膜制备。
预计采购时间：2022-08
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

,上海
超高真空磁控溅射系统
(略) 在采购意向： (略) 上海微系统与信 (略) 2022年7至8月政府采购意向
采购单位： (略) 上海微系统与信 (略)
采购项目名称：超高真空磁控溅射系统
预算金额： 点击查看>> 00万元(人民币)
采购品目：
采购需求概况：
用于Ta,TiN等超导薄膜制备。
预计采购时间：2022-08
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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