清华大学深圳国际研究生院原子层沉积仪意向公开
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清华大学深圳国际研究生院原子层沉积仪意向公开
| 采购单位: | (略) 深圳 (略) |
| 项目名称: | 原子层沉积仪 |
| 预算金额（元）: | 1,510, 点击查看>> |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 具有低温沉积,高温沉积,等离子体辅助沉积,等 (略) 理等功能。系统主要包 (略) 输送系统,低温沉积腔体(side-flow type,300 degree),高温沉积腔体(columnar chamber,1100 degree),等离子体辅助腔体(ICP,top-down flow type),自动化电气控制单元,计算机软件控制系统等组成。可以实现原料载气和反应洗气的分离控制,单次脉冲时间50ms,单次循环时间5s等性能参数. |
| 联系人: | 蒋克林 |
| 联系电话: | 点击查看>> |
| 预计采购时间: | 2022-07 |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | (略) 深圳 (略) |
| 项目名称: | 原子层沉积仪 |
| 预算金额（元）: | 1,510, 点击查看>> |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 具有低温沉积,高温沉积,等离子体辅助沉积,等 (略) 理等功能。系统主要包 (略) 输送系统,低温沉积腔体(side-flow type,300 degree),高温沉积腔体(columnar chamber,1100 degree),等离子体辅助腔体(ICP,top-down flow type),自动化电气控制单元,计算机软件控制系统等组成。可以实现原料载气和反应洗气的分离控制,单次脉冲时间50ms,单次循环时间5s等性能参数. |
| 联系人: | 蒋克林 |
| 联系电话: | 点击查看>> |
| 预计采购时间: | 2022-07 |
| 备注: | 无 |
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