zycgr210708012022年3月政府意向-关键尺寸扫描电子显微镜招标预告
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zycgr210708012022年3月政府意向-关键尺寸扫描电子显微镜招标预告
| 关键尺寸扫描电子显微镜 | |
| (略) 在采购意向： | zycgr 点击查看>> 年3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr 点击查看>> |
| 采购项目名称： | 关键尺寸扫描电子显微镜 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 显微镜 |
| 采购需求概况： | 1、适合于6寸晶圆的检测、传输，并具有可以升级到8寸晶圆的能力。2、测量重复性：3sigma≤2nm @130nm(Line);标片(JQA标准/VLSI标准)同一点30次测试，每次测试包含进出传输过程；3、测量精度：±1% @130nm(Line);标片同一点30次测试，每次测试包含进出传输过程；4、测量范围：0.05~2μm5、分辨率 ≤2nm6、放大倍率：SEM图像1kx~300kx，光学显微图像约110x和220x7、样台移动范围≥200mm (X和Y轴)8、加速电压300~1600V可调9、高低倍切换时画面偏移量≤0.1μm10、移动平台定位精度：±3μm11、光学/电子镜头切换画面偏移量≤1μm12、真空度 离子泵1≤2E-7 Pa，离子泵2≤5E-6 Pa，离子泵3≤5E-5 Pa13、软件与功能：包含错误跟踪、多点测量、边缘粗糙度测量、接触孔测量、自动图像归档、图形片自动对准及测试功能14、通信接口：支持SECS/GEM 15、马拉松传片测试：连续传片300片(不加工艺)，不允许碎片，不允许机械故障停止；16、测量后颗粒物增加：< @@@ .3μm；17、承诺可以根据 点击查看>> 方的具体工艺要求，定制相应的优化方案并提供成套解决服务。例如：特殊衬底（透明）及特殊工艺的实现，设备改造，设备性能提升等。 |
| 预计采购时间： | 2022-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 关键尺寸扫描电子显微镜 | |
| (略) 在采购意向： | zycgr 点击查看>> 年3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr 点击查看>> |
| 采购项目名称： | 关键尺寸扫描电子显微镜 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 显微镜 |
| 采购需求概况： | 1、适合于6寸晶圆的检测、传输，并具有可以升级到8寸晶圆的能力。2、测量重复性：3sigma≤2nm @130nm(Line);标片(JQA标准/VLSI标准)同一点30次测试，每次测试包含进出传输过程；3、测量精度：±1% @130nm(Line);标片同一点30次测试，每次测试包含进出传输过程；4、测量范围：0.05~2μm5、分辨率 ≤2nm6、放大倍率：SEM图像1kx~300kx，光学显微图像约110x和220x7、样台移动范围≥200mm (X和Y轴)8、加速电压300~1600V可调9、高低倍切换时画面偏移量≤0.1μm10、移动平台定位精度：±3μm11、光学/电子镜头切换画面偏移量≤1μm12、真空度 离子泵1≤2E-7 Pa，离子泵2≤5E-6 Pa，离子泵3≤5E-5 Pa13、软件与功能：包含错误跟踪、多点测量、边缘粗糙度测量、接触孔测量、自动图像归档、图形片自动对准及测试功能14、通信接口：支持SECS/GEM 15、马拉松传片测试：连续传片300片(不加工艺)，不允许碎片，不允许机械故障停止；16、测量后颗粒物增加：< @@@ .3μm；17、承诺可以根据 点击查看>> 方的具体工艺要求，定制相应的优化方案并提供成套解决服务。例如：特殊衬底（透明）及特殊工艺的实现，设备改造，设备性能提升等。 |
| 预计采购时间： | 2022-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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