嘉庚创新实验室2022年6月至12月政府采购意向

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嘉庚创新实验室2022年6月至12月政府采购意向

政府采购意向公告 嘉庚创新实验室2022年6月至12月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《 (略) 关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕 (略) )等有关规定,现将(嘉庚创新实验室) 2022 年 6 (至)12 月采购意向公开如下:

序号采购单位采购项目名称采购品目采购需求概况预算金额(万元)预计采购日期备注
1嘉庚创新实验室连续波波长可调谐钛宝石激光器[A 点击查看>> ]激光仪器发射基频光波长在700-1000 nm,倍频光波长在350-500 nm 和四倍频光波长在210-250 nm 区间连续可调的连续波单模激光,激光线宽<1GHz,波长稳定度<1GHz,激光功率> @@@ 00nm,> @@@ 000nm,> @@@ 50-500nm,> @@@ 10-250nm。2752022-09
2嘉庚创新实验室高端晶圆 (略) 房装修用设备[A 点击查看>> ]专用制冷、空调设备主要功能描述:厂房装修用空调机组、系统; 技术参数:符合包含黄光车间、生产车间、实验室、分析室、机房系统、办公室、大厅、存放室、食堂、休闲区与走道的控温、控湿需求。5002022-09
3嘉庚创新实验室高端晶圆 (略) 房一般装修工程[B07]装修工程主要功能描述:厂房装修用空调机组、系统; 技术参数:符合包含黄光车间、生产车间、实验室、分析室、机房系统、办公室、大厅、存放室、食堂、休闲区与走道的控温、控湿需求。3002022-08
4嘉庚创新实验室抗反 (略) 房装修用设备[A 点击查看>> ]专用制冷、空调设备主要功能描述:厂房装修用空调机组、系统; 技术参数:符合包含黄光车间、生产车间、实验室、分析室、机房系统、办公室、大厅、存放室、食堂、休闲区与走道的控温、控湿需求。5002022-09
5嘉庚创新实验室抗反 (略) 房一般装修工程[B07]装修工程主要功能描述: (略) (略) 房一般装修工程; 技术参数:拟装 (略) 与中试线,包含办公室、大厅、存放室、食堂、休闲区与走道等。3002022-08
6嘉庚创新实验室纳米压印[A 点击查看>> ]其他机械设备用于批量大面积,高精度复制纳米级尺寸结构; 技术参数:1、最大支持8英寸并向下兼容;2、支持硅片、玻璃、石英、塑料、金属等基底;3、压印精度<30nm8002022-09
7嘉庚创新实验室激光直写[A 点击查看>> ]其他机械设备用于批量大面积,高精度,无掩模加工纳米/微米级尺寸结构; 技术参数:1、最大支持8英寸并向下兼容;2、最小加工精度300 nm;3、支持硅片、玻璃、石英、金属等基底;4、支持灰度加工6002022-11
8嘉庚创新实验室超快激光玻璃切割裂片机[A 点击查看>> ]电子工业专用生产设备主要用于玻璃切割和裂片,同时兼容蓝宝石切割和裂片。设备需配备超快激光器,采用非接触式加工,需求对应最大基板尺寸370mm*470mm,可向下兼容,可加工厚度0.1-1.5mm,崩边值≤50μm。5002022-10
9嘉庚创新实验室高真空电子束及热阻蒸发镀膜机[A 点击查看>> ]电子工业专用生产设备主要用于Micro-LED制程需求,满足对多种金属材料沉积,包括器件接触电极与倒 (略) 需的金属薄膜制备,是Micro-LED芯片制备与键合工艺开发的重要制程设备,从低熔点到高熔点(熔点150℃~2800℃)金属材料的镀膜全覆盖。设备需具备12英寸制程能力,电子束和热阻镀膜兼容,同时机台具备背面水冷功能(控制温度可至-5 ℃或更低)。2052022-10
10嘉庚创新实验室氯气供气系统[A 点击查看>> ]电子工业专用生产设备主要服务于电感耦合等离子刻蚀系统,提供电感耦合等离 (略) 用氯气;满足放置两个50KG液氯钢瓶;带声光报警的氯气泄露检测报警设施;排风系统;减压系统;安全泄放系统;切换阀门组;喷淋系统。包含氯气吸收装置,处理风量:1000m3/h;吸氯能力:100PPM/H。包含GC气柜、VM (略) , (略) 为1/4"SS316EP+1/2"SS304AP双管设计。2702022-09
11嘉庚创新实验室高温MOCVD[A 点击查看>> ]电子工业专用生产设备主要用于Micro-LED 专用的晶体薄膜外延,能实现在蓝宝石等衬底上生长大尺寸、高均匀性、低缺陷/颗粒密度的n型GaN、InGaN/GaN多量子阱结构、p型GaN及AlGaN等高质量单晶薄膜材料。需满足RF射频加热,光管控温,且工作温度在1200℃以上;反应腔氦漏率<1.0·E-09 mbar·l/s,具有原位氯气清洁功能,可实现较低的日常开腔维护频率并满足一定的量产需求;GaN生长速率≥2μm/h,厚度均匀性≤3%,翘曲度≤50μm;蓝、绿光 LED 波长均匀性 std≤0.8 nm;外延样品表面颗粒物密度小于0.1/cm2 。36002022-10

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

嘉庚创新实验室

发布时间:2022-07-08



政府采购意向公告 嘉庚创新实验室2022年6月至12月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《 (略) 关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕 (略) )等有关规定,现将(嘉庚创新实验室) 2022 年 6 (至)12 月采购意向公开如下:

序号采购单位采购项目名称采购品目采购需求概况预算金额(万元)预计采购日期备注
1嘉庚创新实验室连续波波长可调谐钛宝石激光器[A 点击查看>> ]激光仪器发射基频光波长在700-1000 nm,倍频光波长在350-500 nm 和四倍频光波长在210-250 nm 区间连续可调的连续波单模激光,激光线宽<1GHz,波长稳定度<1GHz,激光功率> @@@ 00nm,> @@@ 000nm,> @@@ 50-500nm,> @@@ 10-250nm。2752022-09
2嘉庚创新实验室高端晶圆 (略) 房装修用设备[A 点击查看>> ]专用制冷、空调设备主要功能描述:厂房装修用空调机组、系统; 技术参数:符合包含黄光车间、生产车间、实验室、分析室、机房系统、办公室、大厅、存放室、食堂、休闲区与走道的控温、控湿需求。5002022-09
3嘉庚创新实验室高端晶圆 (略) 房一般装修工程[B07]装修工程主要功能描述:厂房装修用空调机组、系统; 技术参数:符合包含黄光车间、生产车间、实验室、分析室、机房系统、办公室、大厅、存放室、食堂、休闲区与走道的控温、控湿需求。3002022-08
4嘉庚创新实验室抗反 (略) 房装修用设备[A 点击查看>> ]专用制冷、空调设备主要功能描述:厂房装修用空调机组、系统; 技术参数:符合包含黄光车间、生产车间、实验室、分析室、机房系统、办公室、大厅、存放室、食堂、休闲区与走道的控温、控湿需求。5002022-09
5嘉庚创新实验室抗反 (略) 房一般装修工程[B07]装修工程主要功能描述: (略) (略) 房一般装修工程; 技术参数:拟装 (略) 与中试线,包含办公室、大厅、存放室、食堂、休闲区与走道等。3002022-08
6嘉庚创新实验室纳米压印[A 点击查看>> ]其他机械设备用于批量大面积,高精度复制纳米级尺寸结构; 技术参数:1、最大支持8英寸并向下兼容;2、支持硅片、玻璃、石英、塑料、金属等基底;3、压印精度<30nm8002022-09
7嘉庚创新实验室激光直写[A 点击查看>> ]其他机械设备用于批量大面积,高精度,无掩模加工纳米/微米级尺寸结构; 技术参数:1、最大支持8英寸并向下兼容;2、最小加工精度300 nm;3、支持硅片、玻璃、石英、金属等基底;4、支持灰度加工6002022-11
8嘉庚创新实验室超快激光玻璃切割裂片机[A 点击查看>> ]电子工业专用生产设备主要用于玻璃切割和裂片,同时兼容蓝宝石切割和裂片。设备需配备超快激光器,采用非接触式加工,需求对应最大基板尺寸370mm*470mm,可向下兼容,可加工厚度0.1-1.5mm,崩边值≤50μm。5002022-10
9嘉庚创新实验室高真空电子束及热阻蒸发镀膜机[A 点击查看>> ]电子工业专用生产设备主要用于Micro-LED制程需求,满足对多种金属材料沉积,包括器件接触电极与倒 (略) 需的金属薄膜制备,是Micro-LED芯片制备与键合工艺开发的重要制程设备,从低熔点到高熔点(熔点150℃~2800℃)金属材料的镀膜全覆盖。设备需具备12英寸制程能力,电子束和热阻镀膜兼容,同时机台具备背面水冷功能(控制温度可至-5 ℃或更低)。2052022-10
10嘉庚创新实验室氯气供气系统[A 点击查看>> ]电子工业专用生产设备主要服务于电感耦合等离子刻蚀系统,提供电感耦合等离 (略) 用氯气;满足放置两个50KG液氯钢瓶;带声光报警的氯气泄露检测报警设施;排风系统;减压系统;安全泄放系统;切换阀门组;喷淋系统。包含氯气吸收装置,处理风量:1000m3/h;吸氯能力:100PPM/H。包含GC气柜、VM (略) , (略) 为1/4"SS316EP+1/2"SS304AP双管设计。2702022-09
11嘉庚创新实验室高温MOCVD[A 点击查看>> ]电子工业专用生产设备主要用于Micro-LED 专用的晶体薄膜外延,能实现在蓝宝石等衬底上生长大尺寸、高均匀性、低缺陷/颗粒密度的n型GaN、InGaN/GaN多量子阱结构、p型GaN及AlGaN等高质量单晶薄膜材料。需满足RF射频加热,光管控温,且工作温度在1200℃以上;反应腔氦漏率<1.0·E-09 mbar·l/s,具有原位氯气清洁功能,可实现较低的日常开腔维护频率并满足一定的量产需求;GaN生长速率≥2μm/h,厚度均匀性≤3%,翘曲度≤50μm;蓝、绿光 LED 波长均匀性 std≤0.8 nm;外延样品表面颗粒物密度小于0.1/cm2 。36002022-10

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

嘉庚创新实验室

发布时间:2022-07-08



    
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