中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2022年7至12月政府采购意向-晶圆键合机-名称晶圆键合机；采购数量1台/套；1.兼容晶圆尺寸4、6、8
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2022年7至12月政府采购意向-晶圆键合机-名称晶圆键合机；采购数量1台/套；1.兼容晶圆尺寸4、6、8
| 晶圆键合机 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 苏州纳米技术与纳 (略) 2022年7至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 苏州纳米技术与纳 (略) |
| 采购项目名称： | 晶圆键合机 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他电工、电子专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 名称：晶圆键合机；采购数量：1台/套；1.兼容晶圆尺寸：4、6、8英寸；2.具备阳极键合功能模块,放电电压≥2000V，限流≥15mA；3.设备具有机械手，可实现工艺过程中键合夹具的夹爪、垫片的操作；4.可实现阳极键合、黏着键合、共晶键合等工艺；5.键合压力≥20KN，压力控制精度≤±2%；6.最高加热温度≥500℃；7.腔体极限真空度≥5E-5mbar。整机质保1年，提供一次免费培训学会为止，保修期内4小时内响应，72小时抵达现场。供货期小于12个月。 |
| 预计采购时间： | 2022-10 |
| 备注： | 以实际公告为准 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 晶圆键合机 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 苏州纳米技术与纳 (略) 2022年7至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 苏州纳米技术与纳 (略) |
| 采购项目名称： | 晶圆键合机 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他电工、电子专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 名称：晶圆键合机；采购数量：1台/套；1.兼容晶圆尺寸：4、6、8英寸；2.具备阳极键合功能模块,放电电压≥2000V，限流≥15mA；3.设备具有机械手，可实现工艺过程中键合夹具的夹爪、垫片的操作；4.可实现阳极键合、黏着键合、共晶键合等工艺；5.键合压力≥20KN，压力控制精度≤±2%；6.最高加热温度≥500℃；7.腔体极限真空度≥5E-5mbar。整机质保1年，提供一次免费培训学会为止，保修期内4小时内响应，72小时抵达现场。供货期小于12个月。 |
| 预计采购时间： | 2022-10 |
| 备注： | 以实际公告为准 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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