中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2022年7至12月政府采购意向-TEOS氧化硅化学气相沉积-名称TEOS氧化硅化学气相沉积；数量1台/套；主要功能和目标
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2022年7至12月政府采购意向-TEOS氧化硅化学气相沉积-名称TEOS氧化硅化学气相沉积；数量1台/套；主要功能和目标
| TEOS氧化硅化学气相沉积 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 苏州纳米技术与纳 (略) 2022年7至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 苏州纳米技术与纳 (略) |
| 采购项目名称： | TEOS氧化硅化学气相沉积 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他电工、电子专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 名称：TEOS氧化硅化学气相沉积；数量：1台/套；主要功能和目标：主要用于生长TEOS氧化硅及掺杂的TEOS-BPSG，P掺杂Poly-Si。可实现8寸兼容6寸晶圆的生长工艺， (略) 理能力≥50片，工艺温度范围≥900℃ ，控温精度≤±0.5℃，升温速率≥10℃/min，温度稳定性≤±1℃，极限真空≤15mTorr，真空漏率≤15mTorr/min，，具备B,P掺杂能力。片内，片间，批间均匀性＜±5%，颗粒度≤0.5/cm2(≥0.3um) 。 |
| 预计采购时间： | 2022-10 |
| 备注： | 以实际公告为准 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| TEOS氧化硅化学气相沉积 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 苏州纳米技术与纳 (略) 2022年7至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 苏州纳米技术与纳 (略) |
| 采购项目名称： | TEOS氧化硅化学气相沉积 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他电工、电子专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 名称：TEOS氧化硅化学气相沉积；数量：1台/套；主要功能和目标：主要用于生长TEOS氧化硅及掺杂的TEOS-BPSG，P掺杂Poly-Si。可实现8寸兼容6寸晶圆的生长工艺， (略) 理能力≥50片，工艺温度范围≥900℃ ，控温精度≤±0.5℃，升温速率≥10℃/min，温度稳定性≤±1℃，极限真空≤15mTorr，真空漏率≤15mTorr/min，，具备B,P掺杂能力。片内，片间，批间均匀性＜±5%，颗粒度≤0.5/cm2(≥0.3um) 。 |
| 预计采购时间： | 2022-10 |
| 备注： | 以实际公告为准 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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