序号

采购项目名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

预计采购时间

（填写到月）

备注

1

济南量 (略) 实验室采购项目（八）

超纯水系统：1、产水量≥10m3/h； 2、超纯水供水流量≥15m3/h； 3、系统设计标准：ASTM D5127 TypeE-1.2 ； 制氮系统：1、供气纯度≥ 点击查看>> %，配备在线纯度检测系统，不合格气体自动排出； 2、产气量≥300Nm3/h; 3、供气起始端压力≥0.8MPa； 激光植球机：1、支持焊球直径40um~250um，配备至少一个焊头，焊头具备自动清洁功能； 2、适用焊球种类：InSn、SnAg、SnAgCu,、AuSn、SnPb、SnBi等： 3、具备可灵活编程的芯片编辑软件，支持DXF、Gerber、Text等多种文件格式； 4、支持12英寸及以下晶圆或芯片； APPH40G相位噪声分析仪：1、 频率范围10MHz-40GHz 2、 频率偏移范围0.01Hz-100MHz 3、 相噪灵敏度: @100MHz，10kHz:-178dBc/Hz @1GHz，10KHz:-170dBc/Hz 4、功耗<200W 特气输运系统：1、满足GN2、PN2、Ar、O2、He、SF6、CF4、CHF3、C4F8、N2O、BCl3、HBr、SiCl4、NH3、Cl2、SiH4、H2等气体供应需求； 2、提 (略) 需管道、管件、阀门等的供应、安装及检测，实现大宗气体从主系统预留 (略) 并做好系统备份、特种气体主管自预留间到VMB/P，包括气柜、气架、VMB、VMP、加热控制箱、PLC柜等配套供应装置； 3、提供特种气体侦测系统和气体设备监控系统的供应、安装、调试；系统支持远程显示、记录系统运行及操作状态、支持故障及停机报警，支持与气体侦测系统互锁联动； 设备动力配管系统：1、满足实验室工 (略) 需的配电、特种工艺气体、大宗气体、工艺冷却循环水、超纯水、工艺排风、 (略) 理、真空等动力供应要求；

2375

2022年08月

序号

采购项目名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

预计采购时间

（填写到月）

备注

1

济南量 (略) 实验室采购项目（八）

超纯水系统：1、产水量≥10m3/h； 2、超纯水供水流量≥15m3/h； 3、系统设计标准：ASTM D5127 TypeE-1.2 ； 制氮系统：1、供气纯度≥ 点击查看>> %，配备在线纯度检测系统，不合格气体自动排出； 2、产气量≥300Nm3/h; 3、供气起始端压力≥0.8MPa； 激光植球机：1、支持焊球直径40um~250um，配备至少一个焊头，焊头具备自动清洁功能； 2、适用焊球种类：InSn、SnAg、SnAgCu,、AuSn、SnPb、SnBi等： 3、具备可灵活编程的芯片编辑软件，支持DXF、Gerber、Text等多种文件格式； 4、支持12英寸及以下晶圆或芯片； APPH40G相位噪声分析仪：1、 频率范围10MHz-40GHz 2、 频率偏移范围0.01Hz-100MHz 3、 相噪灵敏度: @100MHz，10kHz:-178dBc/Hz @1GHz，10KHz:-170dBc/Hz 4、功耗<200W 特气输运系统：1、满足GN2、PN2、Ar、O2、He、SF6、CF4、CHF3、C4F8、N2O、BCl3、HBr、SiCl4、NH3、Cl2、SiH4、H2等气体供应需求； 2、提 (略) 需管道、管件、阀门等的供应、安装及检测，实现大宗气体从主系统预留 (略) 并做好系统备份、特种气体主管自预留间到VMB/P，包括气柜、气架、VMB、VMP、加热控制箱、PLC柜等配套供应装置； 3、提供特种气体侦测系统和气体设备监控系统的供应、安装、调试；系统支持远程显示、记录系统运行及操作状态、支持故障及停机报警，支持与气体侦测系统互锁联动； 设备动力配管系统：1、满足实验室工 (略) 需的配电、特种工艺气体、大宗气体、工艺冷却循环水、超纯水、工艺排风、 (略) 理、真空等动力供应要求；

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2022年08月