其他专用仪器仪表

1.1真空腔体腔体尺寸：约500 (D) mm × 550 (H) mm ×500 (W) mm ；腔体材质：SUS304不锈钢；前开门腔门 × 1；4英寸真空观察窗；带独立挡板和电磁屏蔽罩；腔体内衬板 × 1；腔体表面水冷设计；1.2真空抽气系统前级干泵 × 1，最高抽气速度：20 m3/h；分子泵 × 1，最高抽气速度：1250 l/s；分子泵与腔体之间配备自动控制三位闸板阀 × 1；粗抽真空气动阀 × 1；前级真空气动阀 × 1；自动泄气气动阀 × 1；1.3真空测压系统和膜厚量测全量程真空计 × 1，测压范围：1 atm ~ 10-9 Torr；分子泵前级真空计 × 1，测压范围：1 atm ~ 10-4 Torr；大气压传感器 × 1；石英晶振控制器 × 1；石英晶振探头 × 1；1. (略) 系统Ar质量流量计 × 1，最大量程： 400 sccm；O2质量流量计 × 1，最大量程：20 sccm；手动进气阀 × 1；气动进气阀 × 1； Baratron工艺真空计 × 1，测压范围：0.1 Torr ~ 0.1 mTorr；1.5高真空磁控溅射靶枪系统进口3英吋磁控溅射靶抢 × 2；靶抢独立供气环 ×2；靶抢独立气动挡板 ×2；磁控溅射靶水流量传感器 ×2；500W直流电源 ×1；300W 射频电源及匹配器 ×1；POWER SWITCH 供两种电源两支靶枪自动接切换使用；1.6高真空电子束蒸镀系统电子束蒸发源 × 1，坩埚容量：分子7cc，坩埚数量4，自动旋转坩埚，电子束可扫描。6 kW电子束蒸发源电源 × 1；独立气动挡板 × 1；1.7样品台基座可公转旋转，5～20 rpm可调；乘载盘承载最大6英吋样品；配备气动挡板 × 1；样品台水冷設計；高精度恒温水槽:-20~90℃±0.1℃；1.8全自控制软件PLC控制系统 × 1；PC +触屏显示器 × 1；自动抽气、自动泄气、自动测漏、循环抽气程序设定；可由电脑：即时设定真空度及加热温度、即时显示并记录真空度及加热温度、即时显示并记录真空度及加热温度之曲线图，并可设定曲线之取样频率及范围、打印真空度及加热温度之曲线图及Data并可输出为电脑档案、显示 (略) 有异常资料(包括异常内容及异常时间)、设定使用者权限管理(包含：TE、EE、PE、ME)可查询整年度之历史资料(包含真空度及加热温度之曲线图、Data)；所有参数设定可自行设定误差值误差时间并提供警报；提供弹性化工 (略) 设定控制接口，配合权限管理可自由增加或 (略) 。

其他专用仪器仪表

1.1真空腔体腔体尺寸：约500 (D) mm × 550 (H) mm ×500 (W) mm ；腔体材质：SUS304不锈钢；前开门腔门 × 1；4英寸真空观察窗；带独立挡板和电磁屏蔽罩；腔体内衬板 × 1；腔体表面水冷设计；1.2真空抽气系统前级干泵 × 1，最高抽气速度：20 m3/h；分子泵 × 1，最高抽气速度：1250 l/s；分子泵与腔体之间配备自动控制三位闸板阀 × 1；粗抽真空气动阀 × 1；前级真空气动阀 × 1；自动泄气气动阀 × 1；1.3真空测压系统和膜厚量测全量程真空计 × 1，测压范围：1 atm ~ 10-9 Torr；分子泵前级真空计 × 1，测压范围：1 atm ~ 10-4 Torr；大气压传感器 × 1；石英晶振控制器 × 1；石英晶振探头 × 1；1. (略) 系统Ar质量流量计 × 1，最大量程： 400 sccm；O2质量流量计 × 1，最大量程：20 sccm；手动进气阀 × 1；气动进气阀 × 1； Baratron工艺真空计 × 1，测压范围：0.1 Torr ~ 0.1 mTorr；1.5高真空磁控溅射靶枪系统进口3英吋磁控溅射靶抢 × 2；靶抢独立供气环 ×2；靶抢独立气动挡板 ×2；磁控溅射靶水流量传感器 ×2；500W直流电源 ×1；300W 射频电源及匹配器 ×1；POWER SWITCH 供两种电源两支靶枪自动接切换使用；1.6高真空电子束蒸镀系统电子束蒸发源 × 1，坩埚容量：分子7cc，坩埚数量4，自动旋转坩埚，电子束可扫描。6 kW电子束蒸发源电源 × 1；独立气动挡板 × 1；1.7样品台基座可公转旋转，5～20 rpm可调；乘载盘承载最大6英吋样品；配备气动挡板 × 1；样品台水冷設計；高精度恒温水槽:-20~90℃±0.1℃；1.8全自控制软件PLC控制系统 × 1；PC +触屏显示器 × 1；自动抽气、自动泄气、自动测漏、循环抽气程序设定；可由电脑：即时设定真空度及加热温度、即时显示并记录真空度及加热温度、即时显示并记录真空度及加热温度之曲线图，并可设定曲线之取样频率及范围、打印真空度及加热温度之曲线图及Data并可输出为电脑档案、显示 (略) 有异常资料(包括异常内容及异常时间)、设定使用者权限管理(包含：TE、EE、PE、ME)可查询整年度之历史资料(包含真空度及加热温度之曲线图、Data)；所有参数设定可自行设定误差值误差时间并提供警报；提供弹性化工 (略) 设定控制接口，配合权限管理可自由增加或 (略) 。