深圳国际量子研究院激光直写机采购意向公开
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深圳国际量子研究院激光直写机采购意向公开
| 采购单位: | 深圳国 (略) |
| 项目名称: | 激光直写机采购 |
| 预算金额（元）: | 4,780, 点击查看>> |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | (略) 的量子芯片和量子器件测量需要在超净间制备精密芯片和器件，本项目将利用光刻微纳加工工艺制备量子芯片和量子器件。随着芯片工艺的复杂度和芯片面积的不断上升，实验室现有DWL66+激光直写设备速度较慢的问题逐渐凸显，对流片速度产生了明显的影响。我们计划采购一台激光直写光刻机要求在保证最小结构尺寸不大于 1 μm 的条件下，曝光速度不小于 500 mm2 /min，并且可以加工 8 英寸晶片，对缩短芯片研发、生产周期具有不可替代的作用。该设备将用来辅助重点实验室量子芯片和器件的正常和高效制作，实现对具有数十个量子比特的量子芯片的制备。另外因科研任务需要，实验室需要进行大面积365nm波长光刻胶厚胶曝光进行铟柱制备，之前DWL66+光源波长为405nm，该设备对现有工艺线起到关键补充和工艺升级。 |
| 预计采购时间: | 2022-9 |
| 联系人: | 袁老师 |
| 联系电话: | 0755- 点击查看>> |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 深圳国 (略) |
| 项目名称: | 激光直写机采购 |
| 预算金额（元）: | 4,780, 点击查看>> |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | (略) 的量子芯片和量子器件测量需要在超净间制备精密芯片和器件，本项目将利用光刻微纳加工工艺制备量子芯片和量子器件。随着芯片工艺的复杂度和芯片面积的不断上升，实验室现有DWL66+激光直写设备速度较慢的问题逐渐凸显，对流片速度产生了明显的影响。我们计划采购一台激光直写光刻机要求在保证最小结构尺寸不大于 1 μm 的条件下，曝光速度不小于 500 mm2 /min，并且可以加工 8 英寸晶片，对缩短芯片研发、生产周期具有不可替代的作用。该设备将用来辅助重点实验室量子芯片和器件的正常和高效制作，实现对具有数十个量子比特的量子芯片的制备。另外因科研任务需要，实验室需要进行大面积365nm波长光刻胶厚胶曝光进行铟柱制备，之前DWL66+光源波长为405nm，该设备对现有工艺线起到关键补充和工艺升级。 |
| 预计采购时间: | 2022-9 |
| 联系人: | 袁老师 |
| 联系电话: | 0755- 点击查看>> |
| 备注: | 无 |
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