zycgr210708012022年9月政府意向-高真空电子束蒸镀工艺腔招标预告
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zycgr210708012022年9月政府意向-高真空电子束蒸镀工艺腔招标预告
| 高真空电子束蒸镀工艺腔 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年9月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 高真空电子束蒸镀工艺腔 |
| 预算金额： | 140.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 拟采购1台高真空电子束蒸镀工艺腔，用于项目中的器件制备。主要指标：电极蒸镀，极限真空度优于 3 × 10-7 Torr，4 英寸范围内薄膜厚度均匀性优于± 5%。本项目中开展的工作主要是在二维体系上构筑不同的器件结构，例如超导约瑟夫森结和干涉仪等器件，研究其非阿贝尔统计性质。购买这套设备主要用来实现以下功能：（1）由于我们主要研究的是器件的电学输运特性，需要通过微加工手段在样品上制备电极结构，并沉积金属实现好的欧姆接触。所以，我们拟采购1台电子束镀膜设备，专门进行金属电极的制备。此设备作为高真空电子束蒸镀工艺腔（极限真空度优于 3 × 10-7 Torr），可以用来沉积钛（Ti）、金（Au）、钯（Pd）等金属，满足实验需求。（2）本项目开展的在GaAs/AlGaAs二维电子气上制备干涉器的研究，核心器件是三对顶门结构，实现载流子的调控。实验上主要通过微纳加工手段制备顶门结构并进行金属沉积，此设备提供的金属源可以满足顶门的制备工艺，从而实现调控的目的。另外，此设备通过优化样品台与蒸发源的距离等技术，更有利于解决在电极和顶门制备中的金属膜的剥离（liftoff）问题，实现更为精细的器件结构。并且此设备具有预真空腔，可以更高效地开展研究。 |
| 预计采购时间： | 2022-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 高真空电子束蒸镀工艺腔 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年9月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 高真空电子束蒸镀工艺腔 |
| 预算金额： | 140.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 拟采购1台高真空电子束蒸镀工艺腔，用于项目中的器件制备。主要指标：电极蒸镀，极限真空度优于 3 × 10-7 Torr，4 英寸范围内薄膜厚度均匀性优于± 5%。本项目中开展的工作主要是在二维体系上构筑不同的器件结构，例如超导约瑟夫森结和干涉仪等器件，研究其非阿贝尔统计性质。购买这套设备主要用来实现以下功能：（1）由于我们主要研究的是器件的电学输运特性，需要通过微加工手段在样品上制备电极结构，并沉积金属实现好的欧姆接触。所以，我们拟采购1台电子束镀膜设备，专门进行金属电极的制备。此设备作为高真空电子束蒸镀工艺腔（极限真空度优于 3 × 10-7 Torr），可以用来沉积钛（Ti）、金（Au）、钯（Pd）等金属，满足实验需求。（2）本项目开展的在GaAs/AlGaAs二维电子气上制备干涉器的研究，核心器件是三对顶门结构，实现载流子的调控。实验上主要通过微纳加工手段制备顶门结构并进行金属沉积，此设备提供的金属源可以满足顶门的制备工艺，从而实现调控的目的。另外，此设备通过优化样品台与蒸发源的距离等技术，更有利于解决在电极和顶门制备中的金属膜的剥离（liftoff）问题，实现更为精细的器件结构。并且此设备具有预真空腔，可以更高效地开展研究。 |
| 预计采购时间： | 2022-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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