zycgr210708012022年12月政府意向-电子束蒸发镀膜机招标预告
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zycgr210708012022年12月政府意向-电子束蒸发镀膜机招标预告
| 电子束蒸发镀膜机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发镀膜机 |
| 预算金额： | 195.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况： | 该设备主要用于沉积硅基半导体量子芯片的金属栅电极薄膜，需要达到以下条件：1、沉积腔的真空度达到10e-8 torr及以下；2、沉积金属薄膜的均匀性达到±3%及以下；3、支持多种金属靶材，不小于4种； |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 电子束蒸发镀膜机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发镀膜机 |
| 预算金额： | 195.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况： | 该设备主要用于沉积硅基半导体量子芯片的金属栅电极薄膜，需要达到以下条件：1、沉积腔的真空度达到10e-8 torr及以下；2、沉积金属薄膜的均匀性达到±3%及以下；3、支持多种金属靶材，不小于4种； |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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