桂林电子科技大学2022年9月政府采购意向-半导体集成电路超净系统
桂林电子科技大学2022年9月政府采购意向-半导体集成电路超净系统
序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购时间(填写到月) | 备注 |
---|---|---|---|---|---|
1 | 半导 (略) 超净系统 | 1.实验室恒温恒湿设备系统,温度要求24℃±1℃,相对湿度<40%,满足区域约1750平米; 2.实验室净化系统,满足面积约1150平方米的洁净等级不低于*级;面积约600平米不低于1000级,其中面积约300平米高架; 3. 危化品安全管理站,实验室特殊气体系统及危化系统设备,特种气体发生器如氢气、氯气、一氧化二氮等气体及其配套设备内部管道接驳、以及实时安全监控系统,并且满足后续计划性的扩展需求;消防报警系统覆盖地面约1600平方米所对应的立方空间;对整个实验室的危化品做到实时监控及实施反应; 4. (略) 动力配套系统,包括配套电源接入端的电气设备部分,氮气发生器,空气压缩系统,去离子水系统,废水废气处理,监控等系统。 | 880.0000 | 2022年09月 |
序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购时间(填写到月) | 备注 |
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1 | 半导 (略) 超净系统 | 1.实验室恒温恒湿设备系统,温度要求24℃±1℃,相对湿度<40%,满足区域约1750平米; 2.实验室净化系统,满足面积约1150平方米的洁净等级不低于*级;面积约600平米不低于1000级,其中面积约300平米高架; 3. 危化品安全管理站,实验室特殊气体系统及危化系统设备,特种气体发生器如氢气、氯气、一氧化二氮等气体及其配套设备内部管道接驳、以及实时安全监控系统,并且满足后续计划性的扩展需求;消防报警系统覆盖地面约1600平方米所对应的立方空间;对整个实验室的危化品做到实时监控及实施反应; 4. (略) 动力配套系统,包括配套电源接入端的电气设备部分,氮气发生器,空气压缩系统,去离子水系统,废水废气处理,监控等系统。 | 880.0000 | 2022年09月 |
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