东南大学2022年9至12月政府采购意向-磁控溅射PVD-购置1套。(1)片盒腔/搬送腔含气动式机械搬送系统，用于托盘
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东南大学2022年9至12月政府采购意向-磁控溅射PVD-购置1套。(1)片盒腔/搬送腔含气动式机械搬送系统，用于托盘
| 磁控溅射 PVD | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2022年9至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 磁控溅射 PVD |
| 预算金额： | 270.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A9999其他不另分类的物品 |
| 采购需求概况： | 购置1套。(1)片盒腔/搬送腔含气动式机械搬送系统，用于托盘（基板）搬送。(2) 溅射腔有4套4英寸磁控溅射的靶位，基板进行加热（最高温度：300°C）（3）反应室的高真空排气系统配置分子泵，装有皮拉尼真空计和大气压确认计。（4）工艺腔 优于1 x 10-4Pa；装片/搬送腔 优于40 Pa；工艺腔20分钟达到1.0 x 10-3 Pa；装片/搬送腔10分钟到达40Pa |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 磁控溅射 PVD | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2022年9至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 磁控溅射 PVD |
| 预算金额： | 270.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A9999其他不另分类的物品 |
| 采购需求概况： | 购置1套。(1)片盒腔/搬送腔含气动式机械搬送系统，用于托盘（基板）搬送。(2) 溅射腔有4套4英寸磁控溅射的靶位，基板进行加热（最高温度：300°C）（3）反应室的高真空排气系统配置分子泵，装有皮拉尼真空计和大气压确认计。（4）工艺腔 优于1 x 10-4Pa；装片/搬送腔 优于40 Pa；工艺腔20分钟达到1.0 x 10-3 Pa；装片/搬送腔10分钟到达40Pa |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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