杭州电子科技大学激光直写光刻机2022年9月政府采购意向-激光直写光刻机-采招网

杭州电子科技大学激光直写光刻机2022年9月政府采购意向-激光直写光刻机

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杭州电子科技大学激光直写光刻机2022年9月政府采购意向-激光直写光刻机

杭州电子科技大学激光直写光刻机2022年9月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将杭州电子科技大学激光直写光刻机2022年9月采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	采购需求概况	预算金额（元）	预计采购时间（填写到月）	备注
1	激光直写光刻机	柜式机台;XY有效光刻幅面：150mm×150mm;空间光调制器 DMD-SLM数据输入系统：@0.8um/Pixel;光刻最小结构尺寸0.5um;气浮隔振系统;	*	2022年09月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

杭州电子科技大学

附件信息:

杭州电子科技大学激光直写光刻机2022年9月政府采购意向

序号	采购项目名称	采购需求概况	预算金额（元）	预计采购时间（填写到月）	备注
1	激光直写光刻机	柜式机台;XY有效光刻幅面：150mm×150mm;空间光调制器 DMD-SLM数据输入系统：@0.8um/Pixel;光刻最小结构尺寸0.5um;气浮隔振系统;	*	2022年09月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

杭州电子科技大学

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