清华大学2022年10月政府采购意向-高精度光谱椭偏仪-拟采购高精度光谱椭偏仪1台。测量各类薄膜的膜厚及光学参数，对
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清华大学2022年10月政府采购意向-高精度光谱椭偏仪-拟采购高精度光谱椭偏仪1台。测量各类薄膜的膜厚及光学参数，对
| 高精度光谱椭偏仪 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 高精度光谱椭偏仪 |
| 预算金额： | 120.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*光学测试仪器 |
| 采购需求概况： | 拟采购高精度光谱椭偏仪1台。测量各类薄膜的膜厚及光学参数，对特殊结构的材料具有光学性能分析能力。测量范围：Psi = 0°-90°，Delta = 0°-360°，无死区，满足：Ψ≤45°±0.02°，Δ≤0°±0.02°(1.5-5eV)。重复性：测量重复性（80-100nm SiO2/Si样品，30次测量标准偏差1δ）：厚度d≤±0.4?，折射率n（633nm）≤0.0003。软件配置色散公式≥31个，材料模型≥300个。测量时间：全光谱1-3分钟。透明基底：自动收集背反射，背反射抑制处理能力。质保期至少1年。售后服务响应不超过24小时（不区分工作日和节假日）。 |
| 预计采购时间： | 2022-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 高精度光谱椭偏仪 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 高精度光谱椭偏仪 |
| 预算金额： | 120.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*光学测试仪器 |
| 采购需求概况： | 拟采购高精度光谱椭偏仪1台。测量各类薄膜的膜厚及光学参数，对特殊结构的材料具有光学性能分析能力。测量范围：Psi = 0°-90°，Delta = 0°-360°，无死区，满足：Ψ≤45°±0.02°，Δ≤0°±0.02°(1.5-5eV)。重复性：测量重复性（80-100nm SiO2/Si样品，30次测量标准偏差1δ）：厚度d≤±0.4?，折射率n（633nm）≤0.0003。软件配置色散公式≥31个，材料模型≥300个。测量时间：全光谱1-3分钟。透明基底：自动收集背反射，背反射抑制处理能力。质保期至少1年。售后服务响应不超过24小时（不区分工作日和节假日）。 |
| 预计采购时间： | 2022-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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