其他仪器仪表,其他仪器仪表

拟采购高精度电子束曝光系统一套，仪器用途为：用于实现微纳电子和光电子器件的沟道材料图形化以及电极结构定制化设计与制备，该系统在开展新原理器件研究过程中具有不可或缺性。该系统具体包括：1，Sigma 300 HV基本配置为：肖特基场发射电子枪；蔡司专利的 GEMIN 镜筒；机械泵、分子泵和离子泵组成的真空系统；镜筒内加减速功能，保证低电压下高分辨，适用于各类样品，如斜面，截面，样品边缘，和配合第三方附件使用等；预留 EDS, EBSD 和 WDS 接口的标准样品仓；全自动五轴优中心马达样品台，五轴行程为X = 125 mm， Y = 125 mm， Z = 50 mm， T = -10o to 90o（倾斜），R = 360o（旋转），行程大，可以一次观察更多样品；样品室包括抽屉式拉门， 365mm（内部直径） x 275mm（高度）；Win 10 系统。2，Detector 包括：安装在物镜内正光轴上的环形 In-lens 二次电子探测器，无需额外增加任何偏压，可获得样品的极表面信息；样品室内 E-T 二次电子探测器；样品电流探测器，用于监测束流大小；ZEISS 原装样品室内彩色 CCD 相机，CCD 可以实时监测样品室状态， 样品倾转操作更安全。3，双轴遥感操作器。4，双通道操作系统，可以实现同时 2 个探测器成像（如二次电子探头和背散射探头同时成像）。5，双放大软件。6，高级测量软件。7，中心点中心特征功能。8，电子束漂移校正功能。9，鱼眼观察模式，用于超大视野观察，方便寻找样品。10，单张图片最大存储分辨率可达 32k x 24k， 轻松实现大视野无畸变拍图。11，九孔样品台 1 个；多功能样品台 1 个。12，空压机。13，水冷却系统。14，能谱接口。15，预留光电联用接口，搭配蔡司光学显微镜，可以一次性快速、精准定位样品的多个感兴趣区域。16，24 寸液晶显示器 2 个。17，镜筒内置高精度束闸一套， 配合图形发生器可以实现高精度电子束曝光。18，NPGS 纳米图形发生器：NPGS v9.2 系统（含 1 块 PCI516 板卡、 5 (略) 格、 5 个制作法拉第杯用的光阑及 5 套 DesignCAD 软件。）USB 开关盒；XY 输入适配器；成品样品座(带有 75um 孔径法拉第杯和金标样.国内定制)；DELL T5820 工作站 （至强四核 CPU、 8G 内存、 1T 硬盘、 2G 独显）。19，其他附件耗材：碳导电胶 3 卷；标准小样品座 50 个；不间断电源 UPS 深圳山特 SANTAK C6KS/30min。20， 集成化操作控制面板。21，主动式减震台：进口高精度主动式减震台一套（特许株式会社， αL4X-911R1）。

其他仪器仪表,其他仪器仪表

拟采购高精度电子束曝光系统一套，仪器用途为：用于实现微纳电子和光电子器件的沟道材料图形化以及电极结构定制化设计与制备，该系统在开展新原理器件研究过程中具有不可或缺性。该系统具体包括：1，Sigma 300 HV基本配置为：肖特基场发射电子枪；蔡司专利的 GEMIN 镜筒；机械泵、分子泵和离子泵组成的真空系统；镜筒内加减速功能，保证低电压下高分辨，适用于各类样品，如斜面，截面，样品边缘，和配合第三方附件使用等；预留 EDS, EBSD 和 WDS 接口的标准样品仓；全自动五轴优中心马达样品台，五轴行程为X = 125 mm， Y = 125 mm， Z = 50 mm， T = -10o to 90o（倾斜），R = 360o（旋转），行程大，可以一次观察更多样品；样品室包括抽屉式拉门， 365mm（内部直径） x 275mm（高度）；Win 10 系统。2，Detector 包括：安装在物镜内正光轴上的环形 In-lens 二次电子探测器，无需额外增加任何偏压，可获得样品的极表面信息；样品室内 E-T 二次电子探测器；样品电流探测器，用于监测束流大小；ZEISS 原装样品室内彩色 CCD 相机，CCD 可以实时监测样品室状态， 样品倾转操作更安全。3，双轴遥感操作器。4，双通道操作系统，可以实现同时 2 个探测器成像（如二次电子探头和背散射探头同时成像）。5，双放大软件。6，高级测量软件。7，中心点中心特征功能。8，电子束漂移校正功能。9，鱼眼观察模式，用于超大视野观察，方便寻找样品。10，单张图片最大存储分辨率可达 32k x 24k， 轻松实现大视野无畸变拍图。11，九孔样品台 1 个；多功能样品台 1 个。12，空压机。13，水冷却系统。14，能谱接口。15，预留光电联用接口，搭配蔡司光学显微镜，可以一次性快速、精准定位样品的多个感兴趣区域。16，24 寸液晶显示器 2 个。17，镜筒内置高精度束闸一套， 配合图形发生器可以实现高精度电子束曝光。18，NPGS 纳米图形发生器：NPGS v9.2 系统（含 1 块 PCI516 板卡、 5 (略) 格、 5 个制作法拉第杯用的光阑及 5 套 DesignCAD 软件。）USB 开关盒；XY 输入适配器；成品样品座(带有 75um 孔径法拉第杯和金标样.国内定制)；DELL T5820 工作站 （至强四核 CPU、 8G 内存、 1T 硬盘、 2G 独显）。19，其他附件耗材：碳导电胶 3 卷；标准小样品座 50 个；不间断电源 UPS 深圳山特 SANTAK C6KS/30min。20， 集成化操作控制面板。21，主动式减震台：进口高精度主动式减震台一套（特许株式会社， αL4X-911R1）。