北京大学2022年11月政府采购意向-快速退火炉系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额220.000000万元(人民币)
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北京大学2022年11月政府采购意向-快速退火炉系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额220.000000万元(人民币)
| 快速退火炉系统 | |
| 项目所在采购意向： | 北京大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京大学 |
| 采购项目名称： | 快速退火炉系统 |
| 预算金额： | 220.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 快速热退火系统是一种小型的，能够快速升温的加热设备，可广泛应用于：接触退火，注入退火，RTO (快速热氧化)，RTN (快速热氮化)，硅平滑，扩散，致密化和结晶化，硒化，硫化等。可避免杂质的再扩散，减小晶片处理过程中的热预算。保证在受热过程中，晶片表面温度分布均匀。设备应用于半导体器件研发及生产等领域，用于硅及化合物半导体材料离子注入后的缺陷消除、杂质激活、硅化物形成、欧姆接触退火、以及快速氧化/氮化后的快速热处理等工艺场合。可适用大范围类型的基片：硅和化合物半导体晶圆，GaN /蓝宝石和碳化硅晶圆，多晶硅晶圆，玻璃，金属，高分子聚合物，石墨和碳化硅等。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 快速退火炉系统 | |
| 项目所在采购意向： | 北京大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京大学 |
| 采购项目名称： | 快速退火炉系统 |
| 预算金额： | 220.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 快速热退火系统是一种小型的，能够快速升温的加热设备，可广泛应用于：接触退火，注入退火，RTO (快速热氧化)，RTN (快速热氮化)，硅平滑，扩散，致密化和结晶化，硒化，硫化等。可避免杂质的再扩散，减小晶片处理过程中的热预算。保证在受热过程中，晶片表面温度分布均匀。设备应用于半导体器件研发及生产等领域，用于硅及化合物半导体材料离子注入后的缺陷消除、杂质激活、硅化物形成、欧姆接触退火、以及快速氧化/氮化后的快速热处理等工艺场合。可适用大范围类型的基片：硅和化合物半导体晶圆，GaN /蓝宝石和碳化硅晶圆，多晶硅晶圆，玻璃，金属，高分子聚合物，石墨和碳化硅等。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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