(略) 飞秒激光微纳加工系统项目所在采购意向：华侨大学2022年11月政府采购意向采购单位：华侨大学采购项目名称： (略) 飞秒激光微纳加工系统预算金额：196.*万元(人民币)采购品目：
A*激光仪器采购需求概况 ：
拟购 (略) 飞秒激光微纳加工系统主要用于脆性材料表面及内部微纳米功能结构的制造，采购数量为1台，主要技术性能指标： 一、飞秒红外激光器 1、最大平均输出功率：≥50W 2、激光波长在800nm1500nm皆可 3、最大脉冲能量：≥200J 4、脉冲宽度：≤500fs 5、光束质量：M2≤1.3 二、 (略) 1、XY轴最大行程600mm*500mm，最大有效加工幅面300mm*300mm 2、XY轴分辨率：≤500nm 3、XY轴定位精度：≤2μm 4、XY轴重复定位精度：≤1μm 5、Z轴最大行程50mm 6、Z轴分辨率：≤200nm 7、Z轴定位精度：≤1μm 8、Z轴重复定位精度：≤5μm 三、振镜加工系统 1、振镜入射孔径：≥10mm 2、振镜扫描速度：≥3000mm/s 3、振镜重复精度：≤5μm 4、配置旁轴视觉成像系统，CCD相机定位精度≤3μm，可对样品进行精确定位 四、物镜加工系统 1、物镜：4套5X10X/20X/50X 2、同时配置同轴和旁轴视觉成像系统，CCD相机定位精度≤3μm，可对样品精确定位和对加工过程实时成像 五、其他配套 1、配置晶圆吸附装置、除尘装置 2、光路中配置偏光片，可任意调节激光偏振方向 3、预留光束整形模块空间 实验仪器要求满足主要参数指标要求，在规定的时间内供货、安装和调试，协助培训用户使用新仪器，提供不低于1年的质保服务。预计采购时间：2022-11备注：

(略) 飞秒激光微纳加工系统项目所在采购意向：华侨大学2022年11月政府采购意向采购单位：华侨大学采购项目名称： (略) 飞秒激光微纳加工系统预算金额：196.*万元(人民币)采购品目：
A*激光仪器采购需求概况 ：
拟购 (略) 飞秒激光微纳加工系统主要用于脆性材料表面及内部微纳米功能结构的制造，采购数量为1台，主要技术性能指标： 一、飞秒红外激光器 1、最大平均输出功率：≥50W 2、激光波长在800nm1500nm皆可 3、最大脉冲能量：≥200J 4、脉冲宽度：≤500fs 5、光束质量：M2≤1.3 二、 (略) 1、XY轴最大行程600mm*500mm，最大有效加工幅面300mm*300mm 2、XY轴分辨率：≤500nm 3、XY轴定位精度：≤2μm 4、XY轴重复定位精度：≤1μm 5、Z轴最大行程50mm 6、Z轴分辨率：≤200nm 7、Z轴定位精度：≤1μm 8、Z轴重复定位精度：≤5μm 三、振镜加工系统 1、振镜入射孔径：≥10mm 2、振镜扫描速度：≥3000mm/s 3、振镜重复精度：≤5μm 4、配置旁轴视觉成像系统，CCD相机定位精度≤3μm，可对样品进行精确定位 四、物镜加工系统 1、物镜：4套5X10X/20X/50X 2、同时配置同轴和旁轴视觉成像系统，CCD相机定位精度≤3μm，可对样品精确定位和对加工过程实时成像 五、其他配套 1、配置晶圆吸附装置、除尘装置 2、光路中配置偏光片，可任意调节激光偏振方向 3、预留光束整形模块空间 实验仪器要求满足主要参数指标要求，在规定的时间内供货、安装和调试，协助培训用户使用新仪器，提供不低于1年的质保服务。预计采购时间：2022-11备注：