哈尔滨工程大学2022年10至11月政府采购意向-聚焦离子束-电子束曝光系统(FIB-EBL)-A02100305电子光学及离子光学仪器-预算金额820.000000万元(人民币)
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哈尔滨工程大学2022年10至11月政府采购意向-聚焦离子束-电子束曝光系统(FIB-EBL)-A02100305电子光学及离子光学仪器-预算金额820.000000万元(人民币)
| 聚焦离子束-电子束曝光系统(FIB-EBL) | |
| 项目所在采购意向： | 哈尔滨工程大学2022年10至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 哈尔滨工程大学 |
| 采购项目名称： | 聚焦离子束-电子束曝光系统(FIB-EBL) |
| 预算金额： | 820.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况： | FIB-EBL系统可进行微纳（纳米级别）结构加工，优于1nm的显微观察，通过其曝光系统可进行光刻工作制造各类微观结构。是一套集纳米级别加工与观察于一体的先进加工设备。可用于半导体，材料科学，化学，信息科学等多学科门类的科研工作。包括聚焦离子束系统，电子显微系统，光刻系统及辅助系统，当前在科研领域最顶级的微纳加工设备之一。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 聚焦离子束-电子束曝光系统(FIB-EBL) | |
| 项目所在采购意向： | 哈尔滨工程大学2022年10至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 哈尔滨工程大学 |
| 采购项目名称： | 聚焦离子束-电子束曝光系统(FIB-EBL) |
| 预算金额： | 820.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况： | FIB-EBL系统可进行微纳（纳米级别）结构加工，优于1nm的显微观察，通过其曝光系统可进行光刻工作制造各类微观结构。是一套集纳米级别加工与观察于一体的先进加工设备。可用于半导体，材料科学，化学，信息科学等多学科门类的科研工作。包括聚焦离子束系统，电子显微系统，光刻系统及辅助系统，当前在科研领域最顶级的微纳加工设备之一。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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