中山大学2022年11月政府采购意向-集成电路学院等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）采购-A032103电子工业专用生产设备-预算金额557.060000万元(人民币)
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中山大学2022年11月政府采购意向-集成电路学院等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）采购-A032103电子工业专用生产设备-预算金额557.060000万元(人民币)
| (略) 等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）采购 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | (略) 等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）采购 |
| 预算金额： | 557.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | (略) 拟采购等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）2套。主要技术指标：样片尺寸6寸向下兼容；工艺泵70m^3/h;干泵>80^3/h；工艺控压，不控压/0~1Torr 控压；气路数量4~8路；气体种类SiH4、NH3、N2O、CF4、SF6、O2、N2、Ar；样片温度范围从室温至400℃；机台冷却采用冷循环水(10°C ~室温)；沉积材料SiO2、SiNx、α-Si。交付时间：合同签订或收到发货通知30天内。交付地点：中山大学深圳校区理学园。售后服务要求:3年质保期，对所提供的货物在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，必须免费提供包修、包换、包退服务。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| (略) 等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）采购 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | (略) 等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）采购 |
| 预算金额： | 557.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | (略) 拟采购等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）2套。主要技术指标：样片尺寸6寸向下兼容；工艺泵70m^3/h;干泵>80^3/h；工艺控压，不控压/0~1Torr 控压；气路数量4~8路；气体种类SiH4、NH3、N2O、CF4、SF6、O2、N2、Ar；样片温度范围从室温至400℃；机台冷却采用冷循环水(10°C ~室温)；沉积材料SiO2、SiNx、α-Si。交付时间：合同签订或收到发货通知30天内。交付地点：中山大学深圳校区理学园。售后服务要求:3年质保期，对所提供的货物在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，必须免费提供包修、包换、包退服务。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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