原子层沉积系统项目所在采购意向：华南理工大学2022年11月政府采购意向采购单位：华南理工大学采购项目名称：原子层沉积系统预算金额：635.*万元(人民币)采购品目：
A*其他分析仪器采购需求概况 ：
本项目计划购置原子层沉积系统1套，应用：可适用于数十种应用的研发，如IC组件，MEMS器件，显示器，LED，激光和3D对象，例如透镜，光学器件，珠宝，硬币和医疗植入物。目前可以沉积的材料包括：氧化物，氮化物，氟化物，金属，碳化物，复合结构，硫化物，纳米薄层等。 中空纳米管，隧道势垒层，光电电池性能的提高，纳米孔道尺寸的控制，高高宽比纳米图形，微机电系统（MEMS）的反静态阻力涂层和疏水涂层的种子层，纳米晶体，ZnSe涂层，纳米结构，中空纳米碗，存储硅量子点涂层，纳米颗粒的涂层，纳米孔内部的涂层，纳米线的涂层。它已成为驱动的和研究机构的工具。预计采购时间：2022-11备注：

原子层沉积系统项目所在采购意向：华南理工大学2022年11月政府采购意向采购单位：华南理工大学采购项目名称：原子层沉积系统预算金额：635.*万元(人民币)采购品目：
A*其他分析仪器采购需求概况 ：
本项目计划购置原子层沉积系统1套，应用：可适用于数十种应用的研发，如IC组件，MEMS器件，显示器，LED，激光和3D对象，例如透镜，光学器件，珠宝，硬币和医疗植入物。目前可以沉积的材料包括：氧化物，氮化物，氟化物，金属，碳化物，复合结构，硫化物，纳米薄层等。 中空纳米管，隧道势垒层，光电电池性能的提高，纳米孔道尺寸的控制，高高宽比纳米图形，微机电系统（MEMS）的反静态阻力涂层和疏水涂层的种子层，纳米晶体，ZnSe涂层，纳米结构，中空纳米碗，存储硅量子点涂层，纳米颗粒的涂层，纳米孔内部的涂层，纳米线的涂层。它已成为驱动的和研究机构的工具。预计采购时间：2022-11备注：