A*显微镜

双束拉曼一体化显微镜联用分析系统主要配置包括SEM、拉曼、EBSD和EDS1、SEM1.1 电子光学1.1.1 电子发射源：肖特基型热场发射电子源，每个发射电子源质保2年。*1.1.2 分辨率二次电子像分辨率≤0.9nm （15kV），≤1.2 nm （1kV） 背散射电子像分辨率≤2.0nm （30kV）1.1.3 加速电压调整范围：0.05-30 kV,调整步长≤100V 1.1.4 最大束流强度不小于400 nA，连续可调 1.1.5 放大倍数范围: 4-2,000,000倍，粗、细调模式连续可调1.2 样品室*1.2.1 样品腔内部不小于340mm*380mm，高度不小于300mm 1.2.2 在样品室上提供不少于20个附件接口。1.3 样品台1.3.1 五轴全自动马达驱动1.3.2 X方向不小于240 mm，Y方向不小于145mm，Z方向不小于48mm，倾斜角度不小于﹣3°到70o，可360o 连续旋转，样品台最大载重不小于到4Kg。需采用摇篮样品台设计以保证样品台Z轴精度1.4镜筒内至少配置2个独立探测器，样品室内需配置至少2个独立探测器。样品室内二次电子探测器，支持普通ETD模式以及TOPO-BSE成像模式2、拉曼2.1、单次面扫描范围不小于250 um*250 um*250 um，定位精度好于2 nm；2.2、电镜内共聚焦拉曼成像空间分辨率：XY方向优于500 nm（532 nm激光），Z方向优于1500 nm（532 nm激光），可以实现电镜内共聚焦拉曼2D和3D成像；2.3、激光波长包括532 nm与457nm，激光功率≥20mW，可连续调节激光功率，精度好于0.1mW，拉曼低波数好于150 cm-1；2.4、光谱仪焦长≥ 600 mm，光谱分辨率优于1.5 cm-1，光谱重复性优于0.02 cm-1，在电镜内拉曼共聚焦灵敏度：硅三阶峰信噪比好于20:1；采用电镜内收集物镜，积分时间总计300 s；2.5、背照式高端低噪音CCD，量子效率好于90% ；3、EDS3.1、探测器：芯片面积≥80mm2，有效面积≥60mm2，探测器探指直径≤18.2mm；3.2、能量分辨率：在130,000CPS条件下Mn-Ka保证优于129eV，轻元素分辨率C-K/57eV, F-K/67eV；4、EBSD4.1、EBSD相机：高速高灵敏16bit高端CCD相机， 640×480像素，在10pA下可采集到清晰菊池花样；4.2、花样采集速度：945花样/*@*×8binning，630花样/*@*×4binning，并且在低至4kV时可采集到清晰菊池花样，角分辨率达到0.1°；采购标数量：1质保期：货到验收合格之日起 12 个月。

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双束拉曼一体化显微镜联用分析系统主要配置包括SEM、拉曼、EBSD和EDS1、SEM1.1 电子光学1.1.1 电子发射源：肖特基型热场发射电子源，每个发射电子源质保2年。*1.1.2 分辨率二次电子像分辨率≤0.9nm （15kV），≤1.2 nm （1kV） 背散射电子像分辨率≤2.0nm （30kV）1.1.3 加速电压调整范围：0.05-30 kV,调整步长≤100V 1.1.4 最大束流强度不小于400 nA，连续可调 1.1.5 放大倍数范围: 4-2,000,000倍，粗、细调模式连续可调1.2 样品室*1.2.1 样品腔内部不小于340mm*380mm，高度不小于300mm 1.2.2 在样品室上提供不少于20个附件接口。1.3 样品台1.3.1 五轴全自动马达驱动1.3.2 X方向不小于240 mm，Y方向不小于145mm，Z方向不小于48mm，倾斜角度不小于﹣3°到70o，可360o 连续旋转，样品台最大载重不小于到4Kg。需采用摇篮样品台设计以保证样品台Z轴精度1.4镜筒内至少配置2个独立探测器，样品室内需配置至少2个独立探测器。样品室内二次电子探测器，支持普通ETD模式以及TOPO-BSE成像模式2、拉曼2.1、单次面扫描范围不小于250 um*250 um*250 um，定位精度好于2 nm；2.2、电镜内共聚焦拉曼成像空间分辨率：XY方向优于500 nm（532 nm激光），Z方向优于1500 nm（532 nm激光），可以实现电镜内共聚焦拉曼2D和3D成像；2.3、激光波长包括532 nm与457nm，激光功率≥20mW，可连续调节激光功率，精度好于0.1mW，拉曼低波数好于150 cm-1；2.4、光谱仪焦长≥ 600 mm，光谱分辨率优于1.5 cm-1，光谱重复性优于0.02 cm-1，在电镜内拉曼共聚焦灵敏度：硅三阶峰信噪比好于20:1；采用电镜内收集物镜，积分时间总计300 s；2.5、背照式高端低噪音CCD，量子效率好于90% ；3、EDS3.1、探测器：芯片面积≥80mm2，有效面积≥60mm2，探测器探指直径≤18.2mm；3.2、能量分辨率：在130,000CPS条件下Mn-Ka保证优于129eV，轻元素分辨率C-K/57eV, F-K/67eV；4、EBSD4.1、EBSD相机：高速高灵敏16bit高端CCD相机， 640×480像素，在10pA下可采集到清晰菊池花样；4.2、花样采集速度：945花样/*@*×8binning，630花样/*@*×4binning，并且在低至4kV时可采集到清晰菊池花样，角分辨率达到0.1°；采购标数量：1质保期：货到验收合格之日起 12 个月。