中山大学2022年11至12月政府采购意向-电子与信息工程学院无掩膜激光直写曝光机采购项目-A032103电子工业专用生产设备-预算金额500.000000万元(人民币)
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中山大学2022年11至12月政府采购意向-电子与信息工程学院无掩膜激光直写曝光机采购项目-A032103电子工业专用生产设备-预算金额500.000000万元(人民币)
| 电子与 (略) 无掩膜激光直写曝光机采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 电子与 (略) 无掩膜激光直写曝光机采购项目 |
| 预算金额： | 500.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 有效光刻面积200*200mm、最小特征尺寸：0.5微米和0.8微米写头、侧壁粗糙度70纳米、线宽均匀性<80纳米、对准精度150纳米、直写速度25mm2/min、XY样品台干涉校准系统.交付时间要求：合同签订后12个月内；交付地点要求: 广州海关售后服务要求：在质保期内，24小时内电话响应，48小时内到达现场。包含装机服务，和对用户工程师提供针对设备原理、基本操作、日常保养和简单故障排除的现场培训。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 电子与 (略) 无掩膜激光直写曝光机采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 电子与 (略) 无掩膜激光直写曝光机采购项目 |
| 预算金额： | 500.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 有效光刻面积200*200mm、最小特征尺寸：0.5微米和0.8微米写头、侧壁粗糙度70纳米、线宽均匀性<80纳米、对准精度150纳米、直写速度25mm2/min、XY样品台干涉校准系统.交付时间要求：合同签订后12个月内；交付地点要求: 广州海关售后服务要求：在质保期内，24小时内电话响应，48小时内到达现场。包含装机服务，和对用户工程师提供针对设备原理、基本操作、日常保养和简单故障排除的现场培训。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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