A*电子工业专用生产设备

新型二维原子晶体生长与退火系统1套。主要技术指标：PECVD系统:1. 炉管尺寸：3.14" (80mm) OD *2.83" ID *71"" L2. 加热区参数：两块30段可编程控温仪表；两个单独控制的加热区每个加热区长度200mm；恒温区长度250mm（两个温区设置相同温度）3. 等离子发射源：输出功率：5-500W±1%；射频频率：13.56MHz±0.005%；反射功率：最大 200W；匹配：自动；射频接口：50 Ω, N-type；电源：AC 208-240V, 50/60Hz4. 管内真空度：10E-2 Torr真空快速退火炉：1. 6英寸退火炉2. 气 (略) ：N2气3. 配置24个红外加热灯，可选择上表面与下表面进行独立加热4. 温度范围：400~1000 °C；>400 °C，加热速率200 K/min5. 温度范围<1000 °C，加热速率150 K/sec；6. 温度范围1000 ~ 1200 °C，加热速率100 K/sec交付时间：合同签订或收到发货通知30天内。售后服务要求：3年质保期，对所提供的货物在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，必须免费提供保修、包换、包退服务。

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新型二维原子晶体生长与退火系统1套。主要技术指标：PECVD系统:1. 炉管尺寸：3.14" (80mm) OD *2.83" ID *71"" L2. 加热区参数：两块30段可编程控温仪表；两个单独控制的加热区每个加热区长度200mm；恒温区长度250mm（两个温区设置相同温度）3. 等离子发射源：输出功率：5-500W±1%；射频频率：13.56MHz±0.005%；反射功率：最大 200W；匹配：自动；射频接口：50 Ω, N-type；电源：AC 208-240V, 50/60Hz4. 管内真空度：10E-2 Torr真空快速退火炉：1. 6英寸退火炉2. 气 (略) ：N2气3. 配置24个红外加热灯，可选择上表面与下表面进行独立加热4. 温度范围：400~1000 °C；>400 °C，加热速率200 K/min5. 温度范围<1000 °C，加热速率150 K/sec；6. 温度范围1000 ~ 1200 °C，加热速率100 K/sec交付时间：合同签订或收到发货通知30天内。售后服务要求：3年质保期，对所提供的货物在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，必须免费提供保修、包换、包退服务。