A*工艺试验机

PECVD设备，数量：1台。该 (略) 科研使用。技术要求：1. 等离子体射频电源： 220VAC, 50/60 Hz, < 100W，输出频率： 13.56 MHz；2. 加热圈尺寸：50mm OD x 40mm ID x 70mm，可使样品达到的温度为400℃；3. 温控方面:采用PID方式调节温度，同时可设置30段升降温程序，控温精度为： +/-1摄氏度，输入电源： AC 220V, 最大功率：500W。4. 最高温度: 1200℃。交付时间要求：签订合同后六个月内。交付地点要求:中山大学珠海校区公共实验楼。售后服务要求（含培训）：1.设备原厂免费保修期不少于3年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算；2.供应商须在发货前协助用户完成安装条件的准备工作；3.收到用户安装条件就绪的通知后，安装工程师3天内到安装现场进行设备的安装和调试；4.保修期内如用户在产品使用过程中出现故障，保修承担方须在接到故障通知后即时响应，并在48小时内安排上门服务，如故障需要更换零配件，保修承担方须在7个工作日内将配件调配到位并将设备维修好；5.每年至少提供一次免费上门检修与培训服务。

A*工艺试验机

PECVD设备，数量：1台。该 (略) 科研使用。技术要求：1. 等离子体射频电源： 220VAC, 50/60 Hz, < 100W，输出频率： 13.56 MHz；2. 加热圈尺寸：50mm OD x 40mm ID x 70mm，可使样品达到的温度为400℃；3. 温控方面:采用PID方式调节温度，同时可设置30段升降温程序，控温精度为： +/-1摄氏度，输入电源： AC 220V, 最大功率：500W。4. 最高温度: 1200℃。交付时间要求：签订合同后六个月内。交付地点要求:中山大学珠海校区公共实验楼。售后服务要求（含培训）：1.设备原厂免费保修期不少于3年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算；2.供应商须在发货前协助用户完成安装条件的准备工作；3.收到用户安装条件就绪的通知后，安装工程师3天内到安装现场进行设备的安装和调试；4.保修期内如用户在产品使用过程中出现故障，保修承担方须在接到故障通知后即时响应，并在48小时内安排上门服务，如故障需要更换零配件，保修承担方须在7个工作日内将配件调配到位并将设备维修好；5.每年至少提供一次免费上门检修与培训服务。