广东中科半导体微纳制造技术研究院2022年10月至2022年11月政府采购意向
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广东中科半导体微纳制造技术研究院2022年10月至2022年11月政府采购意向
广东中科半导体微纳制 (略) 2022年10月至2022年11月政府采购意向
发布机构：广东中科半导体微纳制 (略) 发布时间：2022-10-14 11:11:35
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2022年10月至2022年11月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 广东中科半导体微纳制 (略) 多晶硅（POLY）低压化学气相沉积设备 | 标的名称：多晶硅（POLY）低压化学气相沉积设备 标的数量：1 主要功能或目标：化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。低压化学气相沉积是在低于一个大气压的条件下进行的化学气相沉积。主要用于多晶硅材料沉积。 需满足的要求：1.设备构成：加热器、反应管、工作台、气路系统、压力控制系统、真空机组、系统控制柜。包含石英舟、石英管、加热系统、机械手、 (略) 、真空泵等必备零部件。2.设备性能需求：设备石英管内需要采取多管进气的方式，其中氮 (略) ，硅烷管 (略) ，硅烷管可以根据设备状态切换气体类型；工艺能力：每批（单次）≥150片/炉；炉体最高温度1000℃；均热区长度（600℃≤工作温度≤1100℃）≥800mm | 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | 4,* | 2022年11月 | |
| 2 | 广东中科半导体微纳制 (略) 硅酸*酯（TEOS）低压化学气相沉积设备 | 标的名称：硅酸*酯（TEOS）低压化学气相沉积设备 标的数量：1 主要功能或目标：化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。低压化学气相沉积是在低于一个大气压的条件下进行的化学气相沉积。主要用于硅酸*酯材料沉积。 需满足的要求：1.设备构成：加热器、反应管、工作台、气路系统、压力控制系统、真空机组、系统控制柜。包含石英舟、石英管、加热系统、机械手、 (略) 、真空泵等必备零部件。配套TEOS自动补液柜、尾气处理系统。2.设备性能需求：设备石英管内需要采取多管进气的方式，其中氮 (略) ，硅烷管 (略) ，硅烷管可以根据设备状态切换气体类型；工艺能力：每批（单次）≥150片/炉；炉体最高温度1000℃；均热区长度（600 | 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | 4,* | 2022年11月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
广东中科半导体微纳制 (略)
2022年10月14日
广东中科半导体微纳制 (略) 2022年10月至2022年11月政府采购意向
发布机构：广东中科半导体微纳制 (略) 发布时间：2022-10-14 11:11:35
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2022年10月至2022年11月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 广东中科半导体微纳制 (略) 多晶硅（POLY）低压化学气相沉积设备 | 标的名称：多晶硅（POLY）低压化学气相沉积设备 标的数量：1 主要功能或目标：化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。低压化学气相沉积是在低于一个大气压的条件下进行的化学气相沉积。主要用于多晶硅材料沉积。 需满足的要求：1.设备构成：加热器、反应管、工作台、气路系统、压力控制系统、真空机组、系统控制柜。包含石英舟、石英管、加热系统、机械手、 (略) 、真空泵等必备零部件。2.设备性能需求：设备石英管内需要采取多管进气的方式，其中氮 (略) ，硅烷管 (略) ，硅烷管可以根据设备状态切换气体类型；工艺能力：每批（单次）≥150片/炉；炉体最高温度1000℃；均热区长度（600℃≤工作温度≤1100℃）≥800mm | 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | 4,* | 2022年11月 | |
| 2 | 广东中科半导体微纳制 (略) 硅酸*酯（TEOS）低压化学气相沉积设备 | 标的名称：硅酸*酯（TEOS）低压化学气相沉积设备 标的数量：1 主要功能或目标：化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。低压化学气相沉积是在低于一个大气压的条件下进行的化学气相沉积。主要用于硅酸*酯材料沉积。 需满足的要求：1.设备构成：加热器、反应管、工作台、气路系统、压力控制系统、真空机组、系统控制柜。包含石英舟、石英管、加热系统、机械手、 (略) 、真空泵等必备零部件。配套TEOS自动补液柜、尾气处理系统。2.设备性能需求：设备石英管内需要采取多管进气的方式，其中氮 (略) ，硅烷管 (略) ，硅烷管可以根据设备状态切换气体类型；工艺能力：每批（单次）≥150片/炉；炉体最高温度1000℃；均热区长度（600 | 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | 4,* | 2022年11月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
广东中科半导体微纳制 (略)
2022年10月14日
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