中山大学2022年11至4月政府采购意向-大面积高通量脉冲激光沉积系统-A02100309激光仪器-预算金额440.000000万元(人民币)
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中山大学2022年11至4月政府采购意向-大面积高通量脉冲激光沉积系统-A02100309激光仪器-预算金额440.000000万元(人民币)
| 大面积高通量脉冲激光沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 大面积高通量脉冲激光沉积系统 |
| 预算金额： | 440.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*激光仪器 |
| 采购需求概况： | 大面积高通量脉冲激光沉积系统（PLD）1套，该设备可在直径尺寸可达5英寸的基底上生长多功能氧化物外延薄膜，以原子尺度精确控制多层薄膜制备，并提供高通量 (略) ；技术要求：1.基底最大尺寸：5英寸或3个英寸基底。2.基底最高温度：在氧气中所有基片材料可达950℃。压力可到400 托。3.温度均匀性：±4℃穿过直径5 英寸的硅基底4.工作压力范围：5*10-7 托为基数至500m 托。5.靶尺寸：1个直径为6英寸或者4个直径为2英寸的靶。6.基底到靶的距离可调： 50~100mm。7.目标激光束的标称入射角：60°。8.准分子脉冲激光器：脉冲功率不小于750mJ，频率50Hz, 波长248nm。9.光学系统：全封闭全自动扫描系统，包括激光快门的自动开/关，自动光圈调整光束尺寸，自动精细定位的运动镜支架。2023年12月之前。交付地点：广州。售后服务：整机质保2年以及全功能培训。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 大面积高通量脉冲激光沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 大面积高通量脉冲激光沉积系统 |
| 预算金额： | 440.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*激光仪器 |
| 采购需求概况： | 大面积高通量脉冲激光沉积系统（PLD）1套，该设备可在直径尺寸可达5英寸的基底上生长多功能氧化物外延薄膜，以原子尺度精确控制多层薄膜制备，并提供高通量 (略) ；技术要求：1.基底最大尺寸：5英寸或3个英寸基底。2.基底最高温度：在氧气中所有基片材料可达950℃。压力可到400 托。3.温度均匀性：±4℃穿过直径5 英寸的硅基底4.工作压力范围：5*10-7 托为基数至500m 托。5.靶尺寸：1个直径为6英寸或者4个直径为2英寸的靶。6.基底到靶的距离可调： 50~100mm。7.目标激光束的标称入射角：60°。8.准分子脉冲激光器：脉冲功率不小于750mJ，频率50Hz, 波长248nm。9.光学系统：全封闭全自动扫描系统，包括激光快门的自动开/关，自动光圈调整光束尺寸，自动精细定位的运动镜支架。2023年12月之前。交付地点：广州。售后服务：整机质保2年以及全功能培训。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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