A*光学测试仪器

对微纳结构进行高分辨成像，同时研究强耦合体系的近场光谱特性。数量：1套技术要求1)配有轻敲式AFM系统，扫描范围：x和y方向100 μm × 100 μm； 闭环扫描区域；z向扫描范围:大于 2 μm；扫描精度x和y方向: ≤0.2 nm，z方向: ≤ 0.2 nm(闭环)；扫描速度x和y方向达到20μm/s2)最大样品尺寸：40 × 50 × 15 mm (x,y,z)3)粗位移范围x≥ 60 mm, y ≥15 mm, z ≥6 mm; 粗位移精度: <200 nm；4)扫描头的AFM悬臂共振频率达到500 kHz, 移动范围30 × 3 × 4 mm (x,y,z)，步进≤200 nm5)配有光学超分辨明场成像系统，分辨率0.8 μm，相机采集速率 5 Mpixel;6)包含AFM针尖照明和光收集模块：采用机动抛物面镜聚焦，数值孔径0.39；抛物面镜移动范围X,Y,Z = 4 mm,分辨率<100 nm;接受可见、近红外、THz照明；7)抛物面镜的移动轴上配有位置传感器，可实现聚焦光斑与针尖自动对准；8)配有扫描控制器、信号处理系统、控制和数据处理软件，用户电脑可通过电脑控制系统，实现x,y,z三个方向对准操作，定位精度小于200 nm；9)配有高NA抛物面镜，NA=0.4610)具有近场成像功能，包括软件和硬件，支持连续成像采集近场光谱；11)具有反射模式探测模块，适用于可见、近红外、中红外（0.5-20μm）

交付时间要求：2023年3月前交付地点要求: 哲生堂售后服务要求（含培训）：提供不少于1天的仪器安装以及使用培训。

A*光学测试仪器

对微纳结构进行高分辨成像，同时研究强耦合体系的近场光谱特性。数量：1套技术要求1)配有轻敲式AFM系统，扫描范围：x和y方向100 μm × 100 μm； 闭环扫描区域；z向扫描范围:大于 2 μm；扫描精度x和y方向: ≤0.2 nm，z方向: ≤ 0.2 nm(闭环)；扫描速度x和y方向达到20μm/s2)最大样品尺寸：40 × 50 × 15 mm (x,y,z)3)粗位移范围x≥ 60 mm, y ≥15 mm, z ≥6 mm; 粗位移精度: <200 nm；4)扫描头的AFM悬臂共振频率达到500 kHz, 移动范围30 × 3 × 4 mm (x,y,z)，步进≤200 nm5)配有光学超分辨明场成像系统，分辨率0.8 μm，相机采集速率 5 Mpixel;6)包含AFM针尖照明和光收集模块：采用机动抛物面镜聚焦，数值孔径0.39；抛物面镜移动范围X,Y,Z = 4 mm,分辨率<100 nm;接受可见、近红外、THz照明；7)抛物面镜的移动轴上配有位置传感器，可实现聚焦光斑与针尖自动对准；8)配有扫描控制器、信号处理系统、控制和数据处理软件，用户电脑可通过电脑控制系统，实现x,y,z三个方向对准操作，定位精度小于200 nm；9)配有高NA抛物面镜，NA=0.4610)具有近场成像功能，包括软件和硬件，支持连续成像采集近场光谱；11)具有反射模式探测模块，适用于可见、近红外、中红外（0.5-20μm）

交付时间要求：2023年3月前交付地点要求: 哲生堂售后服务要求（含培训）：提供不少于1天的仪器安装以及使用培训。