A*真空应用设备

该设备用于惯性传感器地面测试实验，空间引力波探测卫星中的核心载荷之一是空间惯性基准，该项关键技术需要在地面进行测试验证，为了模拟空间多自由度运行状态，地面验证时需要使用精密扭秤技术，将检验质量利用高品质因数的悬丝进行悬挂，同时为了增强扭秤的导电性，降低环境电场的影响，悬丝和扭秤部件需要镀金属膜，因此需要采购扭丝真空镀膜系统。技术要求：1、真空镀膜室：主体尺寸为Φ600×H600mm，立式前开方门，SUS304优质不锈钢制造，在真空室上有2个Φ100mm观察窗用于观察镀膜情况，每个观察窗有相应的挡板。2、磁控溅射镀膜用的靶：水冷，钛靶1块，尺寸400×100×12mm，纯度99.2%，铜靶1块，尺寸400×100×5mm，纯度99.5%，铝靶1块，尺寸400×100×5mm，纯度99.5%。三种靶材均匀区尺寸均为Ф360×280mm，利用三种靶材分别对工件镀膜时，工件表面膜厚不均匀性≤±10%，镀膜厚度从nm到um范围。3、工件架：在镀膜室的中心设置有转架，转架上的样品可以转动，工件承载支撑自转轴为4轴，均布在工件架圆周上，自转在0~6rpm范围内可以连续可调。样品的最大尺寸是Ф380×280mm圆柱状零件。工件架可加偏压，偏压范围为直流0-800V，工件架考虑高温对轴承等运动件的影响。4、真空度和真空获取速度：采用涡轮分子泵系统，系统空载极限真空度≤2e-4Pa；系统的预抽真空度≤5e-3Pa，真空室充干燥氮气开门再从大气状态重新抽到真空度≤5e-3Pa所需时间不超过30分钟。5、加热烘烤系统：真空室内采用烘烤方式对工件进行加热，加热温度最高450℃，可计算机设置和控制。6、控制系统：设备采用计算机程序控制，其中有真空自动抽气程序设置和运行控制，包括泵阀自动控制和互锁保护，有断水、断气、断相报警功能；工艺过程中的真空控制。7、气路系统：镀膜工作气 (略) 1套，共计包含3个质量流量计，全量程：0~200SCCM，测量精度：全量程的1%。8、冷却水：配置水站汇流排1套。水流不足时，通过计算机自动报警，以避免损坏。9、镀膜电源系统：配置2台镀膜用直流电源、1台脉冲直流电源及1台偏压电源。交付时间要求：签订合同后6个月内；交付地点要求：送货至中山大学天琴中心；售后服务要求（含培训）：免费两年保修，送货上门，安装调试。厂家在收到用户报修申请后4小时内回应，若确定无法远程排除故障，应派技术人员于24小时内到达现场。免费培训， (略) 进行5天工艺实验，对设备进行实验测试。

A*真空应用设备

该设备用于惯性传感器地面测试实验，空间引力波探测卫星中的核心载荷之一是空间惯性基准，该项关键技术需要在地面进行测试验证，为了模拟空间多自由度运行状态，地面验证时需要使用精密扭秤技术，将检验质量利用高品质因数的悬丝进行悬挂，同时为了增强扭秤的导电性，降低环境电场的影响，悬丝和扭秤部件需要镀金属膜，因此需要采购扭丝真空镀膜系统。技术要求：1、真空镀膜室：主体尺寸为Φ600×H600mm，立式前开方门，SUS304优质不锈钢制造，在真空室上有2个Φ100mm观察窗用于观察镀膜情况，每个观察窗有相应的挡板。2、磁控溅射镀膜用的靶：水冷，钛靶1块，尺寸400×100×12mm，纯度99.2%，铜靶1块，尺寸400×100×5mm，纯度99.5%，铝靶1块，尺寸400×100×5mm，纯度99.5%。三种靶材均匀区尺寸均为Ф360×280mm，利用三种靶材分别对工件镀膜时，工件表面膜厚不均匀性≤±10%，镀膜厚度从nm到um范围。3、工件架：在镀膜室的中心设置有转架，转架上的样品可以转动，工件承载支撑自转轴为4轴，均布在工件架圆周上，自转在0~6rpm范围内可以连续可调。样品的最大尺寸是Ф380×280mm圆柱状零件。工件架可加偏压，偏压范围为直流0-800V，工件架考虑高温对轴承等运动件的影响。4、真空度和真空获取速度：采用涡轮分子泵系统，系统空载极限真空度≤2e-4Pa；系统的预抽真空度≤5e-3Pa，真空室充干燥氮气开门再从大气状态重新抽到真空度≤5e-3Pa所需时间不超过30分钟。5、加热烘烤系统：真空室内采用烘烤方式对工件进行加热，加热温度最高450℃，可计算机设置和控制。6、控制系统：设备采用计算机程序控制，其中有真空自动抽气程序设置和运行控制，包括泵阀自动控制和互锁保护，有断水、断气、断相报警功能；工艺过程中的真空控制。7、气路系统：镀膜工作气 (略) 1套，共计包含3个质量流量计，全量程：0~200SCCM，测量精度：全量程的1%。8、冷却水：配置水站汇流排1套。水流不足时，通过计算机自动报警，以避免损坏。9、镀膜电源系统：配置2台镀膜用直流电源、1台脉冲直流电源及1台偏压电源。交付时间要求：签订合同后6个月内；交付地点要求：送货至中山大学天琴中心；售后服务要求（含培训）：免费两年保修，送货上门，安装调试。厂家在收到用户报修申请后4小时内回应，若确定无法远程排除故障，应派技术人员于24小时内到达现场。免费培训， (略) 进行5天工艺实验，对设备进行实验测试。