兰州大学2022年10至12月政府采购意向-物理学院/半导体薄膜等离子体增强化学气相沉积系统-A02062002，A02052402-预算金额15.300000万元(人民币)
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兰州大学2022年10至12月政府采购意向-物理学院/半导体薄膜等离子体增强化学气相沉积系统-A02062002，A02052402-预算金额15.300000万元(人民币)
| (略) /半导体薄膜等离子体增强化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 兰州大学2022年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 兰州大学 |
| 采购项目名称： | (略) /半导体薄膜等离子体增强化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 15.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*，A* |
| 采购需求概况： | 半导体薄膜等离子体增强化学气相沉积系统，借助于辉光放电等离子体使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，通过气体放电实现半导体薄膜制备。采购标的数量：1。要求标的：1输入电源: 208-240V AC，功率: 1.2KW; 射频源功率：0~500W 2最高温度:1200℃ (<30min）;连续工作温度:1100℃;·推荐升温速率:10℃/min。3加热区:200mm;·PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度:±1℃;·热偶:K型热偶。4石英管口径: 50×1200mm;·真空系统：10^-2 Torr；气路：四路气体混气装置。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | *@*ttp://** |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| (略) /半导体薄膜等离子体增强化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 兰州大学2022年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 兰州大学 |
| 采购项目名称： | (略) /半导体薄膜等离子体增强化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 15.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*，A* |
| 采购需求概况： | 半导体薄膜等离子体增强化学气相沉积系统，借助于辉光放电等离子体使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，通过气体放电实现半导体薄膜制备。采购标的数量：1。要求标的：1输入电源: 208-240V AC，功率: 1.2KW; 射频源功率：0~500W 2最高温度:1200℃ (<30min）;连续工作温度:1100℃;·推荐升温速率:10℃/min。3加热区:200mm;·PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度:±1℃;·热偶:K型热偶。4石英管口径: 50×1200mm;·真空系统：10^-2 Torr；气路：四路气体混气装置。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | *@*ttp://** |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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