兰州大学2022年10至12月政府采购意向-物理学院/部门+高真空多靶溅射沉积系统采购项目-A02052402,A02100206,-预算金额38.000000万元(人民币)
兰州大学2022年10至12月政府采购意向-物理学院/部门+高真空多靶溅射沉积系统采购项目-A02052402,A02100206,-预算金额38.000000万元(人民币)
(略) /部门+高真空多靶溅射沉积系统采购项目 | |
项目所在采购意向: | 兰州大学2022年10至12月政府采购意向 |
采购单位: | 兰州大学 |
采购项目名称: | (略) /部门+高真空多靶溅射沉积系统采购项目 |
预算金额: | 38.*万元(人民币) |
采购品目: | A*,A*,A* |
采购需求概况: | 高真空多功能复合纳米材料沉积系统是一种用于材料科学、物理学领域的工艺试验仪器,包含沉积系统和离子刻蚀系统。是物理气相沉积的一种,同时也是物理专业学生应具备的技能之一。系统组成JCP500高真空多靶磁控溅射镀膜机配有离子反应刻蚀系统。最大样品数量为2英寸样品4片(以实际设计为主)。主要由真空专用不锈钢腔室、三只3英寸圆形平面磁控靶;直流脉冲溅射电源1台、射频溅射电源各1台。机械泵+分子泵高真空系统、旋转、加热基片台(室温至600±1℃可调可控)、机架、气路、水路、逻辑按钮控制及安全保护等组成。 |
预计采购时间: | 2022-11 |
备注: | *@*ttp://** |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
(略) /部门+高真空多靶溅射沉积系统采购项目 | |
项目所在采购意向: | 兰州大学2022年10至12月政府采购意向 |
采购单位: | 兰州大学 |
采购项目名称: | (略) /部门+高真空多靶溅射沉积系统采购项目 |
预算金额: | 38.*万元(人民币) |
采购品目: | A*,A*,A* |
采购需求概况: | 高真空多功能复合纳米材料沉积系统是一种用于材料科学、物理学领域的工艺试验仪器,包含沉积系统和离子刻蚀系统。是物理气相沉积的一种,同时也是物理专业学生应具备的技能之一。系统组成JCP500高真空多靶磁控溅射镀膜机配有离子反应刻蚀系统。最大样品数量为2英寸样品4片(以实际设计为主)。主要由真空专用不锈钢腔室、三只3英寸圆形平面磁控靶;直流脉冲溅射电源1台、射频溅射电源各1台。机械泵+分子泵高真空系统、旋转、加热基片台(室温至600±1℃可调可控)、机架、气路、水路、逻辑按钮控制及安全保护等组成。 |
预计采购时间: | 2022-11 |
备注: | *@*ttp://** |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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