兰州大学2022年10至12月政府采购意向-物理学院/部门+高真空多靶溅射沉积系统采购项目-A02052402,A02100206,-预算金额38.000000万元(人民币)

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兰州大学2022年10至12月政府采购意向-物理学院/部门+高真空多靶溅射沉积系统采购项目-A02052402,A02100206,-预算金额38.000000万元(人民币)

(略) /部门+高真空多靶溅射沉积系统采购项目
项目所在采购意向:兰州大学2022年10至12月政府采购意向
采购单位:兰州大学
采购项目名称: (略) /部门+高真空多靶溅射沉积系统采购项目
预算金额:38.*万元(人民币)
采购品目:
A*,A*,A*
采购需求概况:
高真空多功能复合纳米材料沉积系统是一种用于材料科学、物理学领域的工艺试验仪器,包含沉积系统和离子刻蚀系统。是物理气相沉积的一种,同时也是物理专业学生应具备的技能之一。系统组成JCP500高真空多靶磁控溅射镀膜机配有离子反应刻蚀系统。最大样品数量为2英寸样品4片(以实际设计为主)。主要由真空专用不锈钢腔室、三只3英寸圆形平面磁控靶;直流脉冲溅射电源1台、射频溅射电源各1台。机械泵+分子泵高真空系统、旋转、加热基片台(室温至600±1℃可调可控)、机架、气路、水路、逻辑按钮控制及安全保护等组成。
预计采购时间:2022-11
备注:
*@*ttp://**

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

,兰州
(略) /部门+高真空多靶溅射沉积系统采购项目
项目所在采购意向:兰州大学2022年10至12月政府采购意向
采购单位:兰州大学
采购项目名称: (略) /部门+高真空多靶溅射沉积系统采购项目
预算金额:38.*万元(人民币)
采购品目:
A*,A*,A*
采购需求概况:
高真空多功能复合纳米材料沉积系统是一种用于材料科学、物理学领域的工艺试验仪器,包含沉积系统和离子刻蚀系统。是物理气相沉积的一种,同时也是物理专业学生应具备的技能之一。系统组成JCP500高真空多靶磁控溅射镀膜机配有离子反应刻蚀系统。最大样品数量为2英寸样品4片(以实际设计为主)。主要由真空专用不锈钢腔室、三只3英寸圆形平面磁控靶;直流脉冲溅射电源1台、射频溅射电源各1台。机械泵+分子泵高真空系统、旋转、加热基片台(室温至600±1℃可调可控)、机架、气路、水路、逻辑按钮控制及安全保护等组成。
预计采购时间:2022-11
备注:
*@*ttp://**

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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