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(略) 及动态配气系统，包含模块一：原位电学冷热台1）可用于连接电学测量设备和拉曼光谱或者显微镜等设备以进行电学信号与光谱表征的原位同步测量2）Ag热台，尺寸33 mm*32 mm，含水冷快速接头，上下一体化水冷3）两路反应气 (略) 真空接口，可通过卡套、快插与配气系统及真空泵相连接，支持选配温度与显微、光谱同步软件5）探针座及夹具：4套6）三同轴连接器：4个7）腔室体积：约100mL8）石英窗口，直径约30mm9）台体尺寸：约140mm*140mm*40mm模块二：控温模块1）温度控制：室温 ~ 500 ℃连续可调；分辨率/稳定度：0.2 ℃2）热台结构：Ag材质，内置Pt 100传感器3）控制方式：触摸屏控制，程序控温4）支持热台温控和液体蒸发器温度的程序设置，支持最多40段程序控温5）触摸屏实时显示热台加热温度、蒸发器加热温度等数据模块三:电学分析系统1）配置源表，支持四线或两线测量2）电流范围：100 pA~200 mA；电阻测量范围：1Ω~10GΩ；电压范围：±200 mV~±10 V3）电学特性转换为传感器信号，气体传感器测量和标定，温度传感器测量和标定4）测试模式： I-t，R-t，I-V等5）配置三同轴接口和测试连接线，控温的同时可进行电学信号测试6）适用范围：材料研究，半导体器件分析（传感器、二极管、功率半导体、LED等）， (略) 测量等应用模块四：温控与电学同步测试软件1）支持电学特性转换为传感器信号，气体传感器测量和标定，温度传感器测量和标定2）支持多种测试模式：I-t，R-t、I-V3）支持多信号如温度与电学信号同步采集4）电学分析软件支持多种灵敏度格式，包括Ra/Rg、Rg/Ra、|Ra-Rg|/Ra自动转换5）支持通过USB进行通信传输模块五：静态配气模块1）体积约5L，与小腔体配合使用，支持静态配气2）配置液体蒸发器，温度：室温~250℃3）内置风扇2个模块六：其他1）附件：配置三同轴电学测试线，支持定制；可定制显微镜或光谱仪固定支架2）Au电极衬底200个；外形尺寸：8mm*4mm*0.38mm；基底材料：96%氧化铝陶瓷；线宽0.2mm，线间距0.2mm，叉指对数5对；电极材料：高温烧结金浆3）探针一盒，规格：20μm可扩展功能1）与光谱仪（如红外、拉曼、紫外），将光谱分析与电学测试结合2）与显微镜联用，将显微与电学测试结合3）腔室 (略) ，定制光源的同步调控4）与真空泵联用，进行低压测试5）与湿度控制的配气系统联用，用于腔室气氛和湿度控制；选配环境监测腔，支持环境温湿度实时监测

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(略) 及动态配气系统，包含模块一：原位电学冷热台1）可用于连接电学测量设备和拉曼光谱或者显微镜等设备以进行电学信号与光谱表征的原位同步测量2）Ag热台，尺寸33 mm*32 mm，含水冷快速接头，上下一体化水冷3）两路反应气 (略) 真空接口，可通过卡套、快插与配气系统及真空泵相连接，支持选配温度与显微、光谱同步软件5）探针座及夹具：4套6）三同轴连接器：4个7）腔室体积：约100mL8）石英窗口，直径约30mm9）台体尺寸：约140mm*140mm*40mm模块二：控温模块1）温度控制：室温 ~ 500 ℃连续可调；分辨率/稳定度：0.2 ℃2）热台结构：Ag材质，内置Pt 100传感器3）控制方式：触摸屏控制，程序控温4）支持热台温控和液体蒸发器温度的程序设置，支持最多40段程序控温5）触摸屏实时显示热台加热温度、蒸发器加热温度等数据模块三:电学分析系统1）配置源表，支持四线或两线测量2）电流范围：100 pA~200 mA；电阻测量范围：1Ω~10GΩ；电压范围：±200 mV~±10 V3）电学特性转换为传感器信号，气体传感器测量和标定，温度传感器测量和标定4）测试模式： I-t，R-t，I-V等5）配置三同轴接口和测试连接线，控温的同时可进行电学信号测试6）适用范围：材料研究，半导体器件分析（传感器、二极管、功率半导体、LED等）， (略) 测量等应用模块四：温控与电学同步测试软件1）支持电学特性转换为传感器信号，气体传感器测量和标定，温度传感器测量和标定2）支持多种测试模式：I-t，R-t、I-V3）支持多信号如温度与电学信号同步采集4）电学分析软件支持多种灵敏度格式，包括Ra/Rg、Rg/Ra、|Ra-Rg|/Ra自动转换5）支持通过USB进行通信传输模块五：静态配气模块1）体积约5L，与小腔体配合使用，支持静态配气2）配置液体蒸发器，温度：室温~250℃3）内置风扇2个模块六：其他1）附件：配置三同轴电学测试线，支持定制；可定制显微镜或光谱仪固定支架2）Au电极衬底200个；外形尺寸：8mm*4mm*0.38mm；基底材料：96%氧化铝陶瓷；线宽0.2mm，线间距0.2mm，叉指对数5对；电极材料：高温烧结金浆3）探针一盒，规格：20μm可扩展功能1）与光谱仪（如红外、拉曼、紫外），将光谱分析与电学测试结合2）与显微镜联用，将显微与电学测试结合3）腔室 (略) ，定制光源的同步调控4）与真空泵联用，进行低压测试5）与湿度控制的配气系统联用，用于腔室气氛和湿度控制；选配环境监测腔，支持环境温湿度实时监测

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