兰州大学2022年11月政府采购意向-材料与能源学院新材料、新能源科研平台建设项目-远程ICP电感耦合等离子体增强原子层沉积系统-A02100699-预算金额390.000000万元(人民币)
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兰州大学2022年11月政府采购意向-材料与能源学院新材料、新能源科研平台建设项目-远程ICP电感耦合等离子体增强原子层沉积系统-A02100699-预算金额390.000000万元(人民币)
| 材 (略) 新材料、 (略) 建设项目-远程ICP电感耦合等离子体增强原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 兰州大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 兰州大学 |
| 采购项目名称： | 材 (略) 新材料、 (略) 建设项目-远程ICP电感耦合等离子体增强原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 390.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* |
| 采购需求概况： | 采购标名称：远程ICP电感耦合等离子体增强原子层沉积系统；采购标数量：1套；采购标实现的主要功能：制备具有超薄、均匀性好的功能纳米薄膜材料，提供异型曲面样品加热台并优化流体结构，采用最先进的远程ICP电感耦合等离子体辅助沉积技术，在低功率（不损坏衬底）、低温下，制备超薄、均匀性好的金属氧化物，如介质膜Al2O3、TiO2、HfO2等、金属膜（Co等），TSV通孔及深沟槽器件薄膜，化合物叠层，ITO导电薄膜及各类掺杂工艺薄膜等功能纳米薄膜材料。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | 刘老师：* |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 材 (略) 新材料、 (略) 建设项目-远程ICP电感耦合等离子体增强原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 兰州大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 兰州大学 |
| 采购项目名称： | 材 (略) 新材料、 (略) 建设项目-远程ICP电感耦合等离子体增强原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 390.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* |
| 采购需求概况： | 采购标名称：远程ICP电感耦合等离子体增强原子层沉积系统；采购标数量：1套；采购标实现的主要功能：制备具有超薄、均匀性好的功能纳米薄膜材料，提供异型曲面样品加热台并优化流体结构，采用最先进的远程ICP电感耦合等离子体辅助沉积技术，在低功率（不损坏衬底）、低温下，制备超薄、均匀性好的金属氧化物，如介质膜Al2O3、TiO2、HfO2等、金属膜（Co等），TSV通孔及深沟槽器件薄膜，化合物叠层，ITO导电薄膜及各类掺杂工艺薄膜等功能纳米薄膜材料。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | 刘老师：* |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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