兰州大学2022年11月政府采购意向-材料与能源学院新材料、新能源科研平台建设项目-电感耦合反应离子表面处理与刻蚀系统-A02052402-预算金额195.000000万元(人民币)
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兰州大学2022年11月政府采购意向-材料与能源学院新材料、新能源科研平台建设项目-电感耦合反应离子表面处理与刻蚀系统-A02052402-预算金额195.000000万元(人民币)
| 材 (略) 新材料、 (略) 建设项目-电感耦合反应离子表面处理与刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 兰州大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 兰州大学 |
| 采购项目名称： | 材 (略) 新材料、 (略) 建设项目-电感耦合反应离子表面处理与刻蚀系统 |
| 预算金额： | 195.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* |
| 采购需求概况： | 采购标名称：电感耦合反应离子表面处理与刻蚀系统；用于半导体与新能源材料的表面处理与微纳加工；采购数量：1套；采购标实现的功能：电感耦合反应离子表面处理与刻蚀系统作为表面处理与微纳加工手段，主要用于我校新能源、双碳领域的研究使用，可以根据不同材料独立控制等离子体密度，等离子能量，保证高蚀刻速率，并增加掩模气体的选择性，改善刻蚀方向性和降低器件损坏。计划购置系统1套，供应商需具有良好的信用记录，近三年无重大违法、违规、违约行为。同时满足对应免费质保、故障响应、备品备件、培训安装调试等服务。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | 王老师* |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 材 (略) 新材料、 (略) 建设项目-电感耦合反应离子表面处理与刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 兰州大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 兰州大学 |
| 采购项目名称： | 材 (略) 新材料、 (略) 建设项目-电感耦合反应离子表面处理与刻蚀系统 |
| 预算金额： | 195.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* |
| 采购需求概况： | 采购标名称：电感耦合反应离子表面处理与刻蚀系统；用于半导体与新能源材料的表面处理与微纳加工；采购数量：1套；采购标实现的功能：电感耦合反应离子表面处理与刻蚀系统作为表面处理与微纳加工手段，主要用于我校新能源、双碳领域的研究使用，可以根据不同材料独立控制等离子体密度，等离子能量，保证高蚀刻速率，并增加掩模气体的选择性，改善刻蚀方向性和降低器件损坏。计划购置系统1套，供应商需具有良好的信用记录，近三年无重大违法、违规、违约行为。同时满足对应免费质保、故障响应、备品备件、培训安装调试等服务。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | 王老师* |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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