浙江大学2020年11至12月政府采购意向-双倾角镀膜机-A033499其他专用仪器仪表-预算金额650.000000万元(人民币)
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浙江大学2020年11至12月政府采购意向-双倾角镀膜机-A033499其他专用仪器仪表-预算金额650.000000万元(人民币)
| 双倾角镀膜机 | |
| 项目所在采购意向： | 浙江大学2020年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 浙江大学 |
| 采购项目名称： | 双倾角镀膜机 |
| 预算金额： | 650.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 名称：双倾角镀膜仪主要功能：该设备必须能够成熟用于超导约瑟夫森结的制备，整套超高真空多腔体电子束镀膜系统满足4英寸晶圆上的超导器件的制备，兼容2英寸晶圆以及其他小于4英寸的晶圆衬底。该系统至少包含真空连接的离子束刻蚀室、电子束蒸发室、氧化室三个腔室，全部腔体采用不锈钢制造。设备可以对晶圆衬底进行清洁、电子束蒸镀超导金属薄膜（例如铝膜）、超导膜层氧化、超导膜层刻蚀，从而用于超导约瑟夫森结的制备。样品传送、工艺处理、真空管理等流程全部自动化，同时还具有紧急停机、安全互锁、断电自我保护等功能。采购数量：1套质量：满足国家相关质量标准或原产地质量标准。服务及时限：对相关的技术问题能在48小时内及时进行响应，并通过电话、传真、邮件等形式及时进行指导加以排除；若通过电话、传真、邮件等在5个工作日内仍不能解决问题：简单问题供方国内工程师3个工作日上门检修，复杂问题供方国外工程师3-6周内上门检修。 |
| 预计采购时间： | 2020-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 双倾角镀膜机 | |
| 项目所在采购意向： | 浙江大学2020年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 浙江大学 |
| 采购项目名称： | 双倾角镀膜机 |
| 预算金额： | 650.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 名称：双倾角镀膜仪主要功能：该设备必须能够成熟用于超导约瑟夫森结的制备，整套超高真空多腔体电子束镀膜系统满足4英寸晶圆上的超导器件的制备，兼容2英寸晶圆以及其他小于4英寸的晶圆衬底。该系统至少包含真空连接的离子束刻蚀室、电子束蒸发室、氧化室三个腔室，全部腔体采用不锈钢制造。设备可以对晶圆衬底进行清洁、电子束蒸镀超导金属薄膜（例如铝膜）、超导膜层氧化、超导膜层刻蚀，从而用于超导约瑟夫森结的制备。样品传送、工艺处理、真空管理等流程全部自动化，同时还具有紧急停机、安全互锁、断电自我保护等功能。采购数量：1套质量：满足国家相关质量标准或原产地质量标准。服务及时限：对相关的技术问题能在48小时内及时进行响应，并通过电话、传真、邮件等形式及时进行指导加以排除；若通过电话、传真、邮件等在5个工作日内仍不能解决问题：简单问题供方国内工程师3个工作日上门检修，复杂问题供方国外工程师3-6周内上门检修。 |
| 预计采购时间： | 2020-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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