大腔体MPCVD项目所在采购意向：东北师范大学2022年11月政府采购意向采购单位：东北师范大学采购项目名称：大腔体MPCVD预算金额：500.*万元(人民币)采购品目：
A03采购需求概况 ：
采购标名称：MPCVD系统及配套设备； 采购标数量：1台套； 主要功能和目标： 单晶金刚石及其他薄膜的制备；须满足的质量参数目标：MPCVD主系统(1) 功率为6KW及以上，频率为2.45GHz；(2) 水冷式金属腔体及生长台；(3) 标准衬底托直径2英寸（50毫米）及以上；(4) (略) 3路及以上；(5) 工作压力范围10-220 Torr；(6) 在大范围微波功率密度内，等离子球保持高度稳定性；配套设备：氢气发生器：(1) 氢气纯度在99.*%（7N）以上；(2) 稳定输出6sccm以上的氢气，1/4"MVCR,1.5-3bar；激光切割机：（1）激光切割金刚石的损失小到2%以下；（2）切割面均匀平整，不平整度在20um以内；（3）实现连续自动化。服务：对主系统及配套设备安装和调试、使用前培训、终身维修；采购在需在2022年12月底前进行。预计采购时间：2022-11备注：

大腔体MPCVD项目所在采购意向：东北师范大学2022年11月政府采购意向采购单位：东北师范大学采购项目名称：大腔体MPCVD预算金额：500.*万元(人民币)采购品目：
A03采购需求概况 ：
采购标名称：MPCVD系统及配套设备； 采购标数量：1台套； 主要功能和目标： 单晶金刚石及其他薄膜的制备；须满足的质量参数目标：MPCVD主系统(1) 功率为6KW及以上，频率为2.45GHz；(2) 水冷式金属腔体及生长台；(3) 标准衬底托直径2英寸（50毫米）及以上；(4) (略) 3路及以上；(5) 工作压力范围10-220 Torr；(6) 在大范围微波功率密度内，等离子球保持高度稳定性；配套设备：氢气发生器：(1) 氢气纯度在99.*%（7N）以上；(2) 稳定输出6sccm以上的氢气，1/4"MVCR,1.5-3bar；激光切割机：（1）激光切割金刚石的损失小到2%以下；（2）切割面均匀平整，不平整度在20um以内；（3）实现连续自动化。服务：对主系统及配套设备安装和调试、使用前培训、终身维修；采购在需在2022年12月底前进行。预计采购时间：2022-11备注：