华中科技大学2022年11月政府意向-感应耦合等离子化学气相沉积系统招标预告
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华中科技大学2022年11月政府意向-感应耦合等离子化学气相沉积系统招标预告
| 感应耦合等离子化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 感应耦合等离子化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 100.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 晶圆尺寸：< 8英寸；主要沉积材料：SiO2、SiNx、多晶硅。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 感应耦合等离子化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 感应耦合等离子化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 100.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 晶圆尺寸：< 8英寸；主要沉积材料：SiO2、SiNx、多晶硅。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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