西安电子科技大学2022年12至3月政府采购意向-碳膜溅射台-其他电气设备-预算金额350.000000万元(人民币)
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西安电子科技大学2022年12至3月政府采购意向-碳膜溅射台-其他电气设备-预算金额350.000000万元(人民币)
| 碳膜溅射台 | |
| 项目所在采购意向： | 西安电子科技大学2022年12至3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 碳膜溅射台 |
| 预算金额： | 350.*万元(人民币) |
| 采购品目： | 其他电气设备 |
| 采购需求概况： | 一台。1、基板可以回转（最大的旋转速度：20 rpm）；2、配有Load-Lock系统，完成自动/手动送样/取样过程；3、溅射室极限真空：1.0×10-4Pa以下（空载，经烘烤除气后）；4、Load-lock室极限：3.0×10-1Pa（空载，经烘烤除气后）；5、溅射室抽速：（空载）从大气抽至1.0×10-3Pa≤20min； 6、Load-lock室抽速：从大气抽至40Pa≤5min；7、基片台：可装载6英寸及以下各种规格的样品； 8、膜厚不均匀性：≤±5%；9、碳膜表面粗糙度：≤0.5nm；10、腔体加热：可实现溅射室内环境加热； 11、配备直流脉冲溅射电源和电源；12、配有气体质量流量 (略) ；13、配备有循环水冷机和空气压缩机；14、PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统；报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 |
| 预计采购时间： | 2023-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 碳膜溅射台 | |
| 项目所在采购意向： | 西安电子科技大学2022年12至3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 碳膜溅射台 |
| 预算金额： | 350.*万元(人民币) |
| 采购品目： | 其他电气设备 |
| 采购需求概况： | 一台。1、基板可以回转（最大的旋转速度：20 rpm）；2、配有Load-Lock系统，完成自动/手动送样/取样过程；3、溅射室极限真空：1.0×10-4Pa以下（空载，经烘烤除气后）；4、Load-lock室极限：3.0×10-1Pa（空载，经烘烤除气后）；5、溅射室抽速：（空载）从大气抽至1.0×10-3Pa≤20min； 6、Load-lock室抽速：从大气抽至40Pa≤5min；7、基片台：可装载6英寸及以下各种规格的样品； 8、膜厚不均匀性：≤±5%；9、碳膜表面粗糙度：≤0.5nm；10、腔体加热：可实现溅射室内环境加热； 11、配备直流脉冲溅射电源和电源；12、配有气体质量流量 (略) ；13、配备有循环水冷机和空气压缩机；14、PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统；报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 |
| 预计采购时间： | 2023-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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