信息工程学院光子芯片加工及封测平台政府采购意向公告
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信息工程学院光子芯片加工及封测平台政府采购意向公告
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将（ (略) ）2022年10（至）11月采购意向公开如下：
序号 | 采购项目 名称 | 采购需求概况 | 预算金额 （万元） | 预计采购时间 （填写到月） | 备注 |
1 | 光 (略) | 双面光刻机 电子束蒸发 磁控溅射 电感耦合等离子体刻蚀（ICP） 等离子体增强化学气相沉积（PECVD） 快速热退火 等离子清洗机 匀胶机 热板 台式真空干燥箱 超声波清洗机 晶圆划裂片系统 贴膜机 扩晶机 全自动二流体清洗机 芯片转料机 微波等离子清洗机 高精度自动贴片机 金丝球楔一体键合机 双电子束蒸发镀膜机 精密程控位移台 光子芯片与光波器件综合测试系统 双路垂直光耦合系统 | 2265.75 | 2022年11月 | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将（ (略) ）2022年10（至）11月采购意向公开如下：
序号 | 采购项目 名称 | 采购需求概况 | 预算金额 （万元） | 预计采购时间 （填写到月） | 备注 |
1 | 光 (略) | 双面光刻机 电子束蒸发 磁控溅射 电感耦合等离子体刻蚀（ICP） 等离子体增强化学气相沉积（PECVD） 快速热退火 等离子清洗机 匀胶机 热板 台式真空干燥箱 超声波清洗机 晶圆划裂片系统 贴膜机 扩晶机 全自动二流体清洗机 芯片转料机 微波等离子清洗机 高精度自动贴片机 金丝球楔一体键合机 双电子束蒸发镀膜机 精密程控位移台 光子芯片与光波器件综合测试系统 双路垂直光耦合系统 | 2265.75 | 2022年11月 | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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