序号

采购项目

名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

预计采购时间

（填写到月）

备注

1

半导体微纳加工与表征实验室建设项目

标的名称：半导体微纳加工与表征实验室建设项目，标的数量：1。采购标的需实现的主要功能或者目标：原位磁光测量的分子束外延系统1套，全自动匀胶显影一体机1套，低温原子力显微镜1套，离子注入系统1套，深硅刻蚀系统1套，低压化学气相沉积系统1套，感应耦合等离子刻蚀系统1套，磁光克尔显微镜1套，全自动高低温探针系统1套，氧化扩散系统1套，等离子体增强化学气相沉积系统2套，高真空电子束蒸发系统1套等一批设备。

6647

11月

按照国家相关政策执行。

2

(略) 设计与测试实验室建设项目

标的名称： (略) 设计与测试实验室建设项目，标的数量：1。采购标的需实现的主要功能或者目标：硬件加速器1套， (略) (略) 1套， (略) 1套，半导体器件低频噪声测试系统1套， (略) 测试系统1套，数字示波器1套，高性能任意波形发生器1套，阵列天线宽带信号接收机1套，逻辑分析仪1套，第三代半导体器件功率循环测试系统1套，SiC器件动态试验系统1套，GaN器件寿命试验系统1套等一批设备。

2703

11月

按照国家相关政策执行。

3

(略) 基础教学与实验建设项目

标的名称： (略) 设计与测试实验室建设项目，标的数量：1。采购标的需实现的主要功能或者目标：微电子科学与工程专业基础实验教学配套仪器一批，如少子寿命测试仪，霍尔效应测式仪等； (略) 设计与集成系统专业基础实验教学配套仪器一批，如微波实验系统，移动通信综合实验箱

1241

11月

按照国家相关政策执行。

4

高端微纳加工与表征建设项目

标的名称： (略) 设计与测试实验室建设项目，标的数量：1。采购标的需实现的主要功能或者目标：双面对准光刻系统1套，接触式光刻机1台，涂胶显影系统1套，磁控溅射1台，电子束蒸发仪1套，等离子增强化学气相沉积1套，等离子体刻蚀机1套，原子层沉积系统1套，扫描电子显微镜1套，X射线衍射仪1套，氟化氙气相刻蚀机1套，半导体参数测试仪1套，高精度光学显微镜1套，激光直写系统1套，超高精度材料沉积系统1套等一批设备。

4424

11月

按照国家相关政策执行。

序号

采购项目

名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

预计采购时间

（填写到月）

备注

1

半导体微纳加工与表征实验室建设项目

标的名称：半导体微纳加工与表征实验室建设项目，标的数量：1。采购标的需实现的主要功能或者目标：原位磁光测量的分子束外延系统1套，全自动匀胶显影一体机1套，低温原子力显微镜1套，离子注入系统1套，深硅刻蚀系统1套，低压化学气相沉积系统1套，感应耦合等离子刻蚀系统1套，磁光克尔显微镜1套，全自动高低温探针系统1套，氧化扩散系统1套，等离子体增强化学气相沉积系统2套，高真空电子束蒸发系统1套等一批设备。

6647

11月

按照国家相关政策执行。

2

(略) 设计与测试实验室建设项目

标的名称： (略) 设计与测试实验室建设项目，标的数量：1。采购标的需实现的主要功能或者目标：硬件加速器1套， (略) (略) 1套， (略) 1套，半导体器件低频噪声测试系统1套， (略) 测试系统1套，数字示波器1套，高性能任意波形发生器1套，阵列天线宽带信号接收机1套，逻辑分析仪1套，第三代半导体器件功率循环测试系统1套，SiC器件动态试验系统1套，GaN器件寿命试验系统1套等一批设备。

2703

11月

按照国家相关政策执行。

3

(略) 基础教学与实验建设项目

标的名称： (略) 设计与测试实验室建设项目，标的数量：1。采购标的需实现的主要功能或者目标：微电子科学与工程专业基础实验教学配套仪器一批，如少子寿命测试仪，霍尔效应测式仪等； (略) 设计与集成系统专业基础实验教学配套仪器一批，如微波实验系统，移动通信综合实验箱

1241

11月

按照国家相关政策执行。

4

高端微纳加工与表征建设项目

标的名称： (略) 设计与测试实验室建设项目，标的数量：1。采购标的需实现的主要功能或者目标：双面对准光刻系统1套，接触式光刻机1台，涂胶显影系统1套，磁控溅射1台，电子束蒸发仪1套，等离子增强化学气相沉积1套，等离子体刻蚀机1套，原子层沉积系统1套，扫描电子显微镜1套，X射线衍射仪1套，氟化氙气相刻蚀机1套，半导体参数测试仪1套，高精度光学显微镜1套，激光直写系统1套，超高精度材料沉积系统1套等一批设备。

4424

11月

按照国家相关政策执行。